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IPA的半导体车间的应用

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用户2760455
发布2022-11-16 15:05:53
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发布2022-11-16 15:05:53
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文章被收录于专栏:芯片工艺技术芯片工艺技术

在ResearchGate上看到有印度小伙问关于IPA的问题,感觉大家的讨论还挺有意思,我们也聊扯一下IPA的应用。

“As far as I know, IPA (isopropylalcohol) is usedwidely for cleaning purpose on devices. Can anyone explain what its exact role is? For example, I have heard that IPA is often used right after treatment ofacetone, and that is because acetone can be disolved by treating it withIPA.”

做半导体的人经常用IPA,但是做器件的产线多用酒精。在半导体产线IPA基本上是无处不用。设备装机、设备PM都用无尘布IPA,虽然它很臭,但是它真好用。刚接触IPA的人会疑问3个问题:

1)IPA这么臭,为啥不用酒精?2)ACE之后为啥一定要用IPA洗?3)这么臭,经常用IPA有啥身体伤害不?

关于第一个问题,有国外道友是这么说的:

"Isopropyl alcohol dissolves a wide range of non-polar compounds. It also evaporates quickly, leaves nearly zero oil traces, compared to ethanol, and is relatively non-toxic, compared to alternative solvents."

总的意思是说IPA可以去除有机物油什么的,而且干的快,不留残渣。酒精想进入IC行业还差点档次,而且酒精爱吸水。芯片最怕什么,最怕水汽。因此芯片不喜欢酒精。而且酒精更易燃。

第二个问题,道友又云:

丙酮是什么,丙酮是有毒的,说白了有点像汽油,60℃就沸腾,5分钟就可以挥发的差 不多了,还不能盖盖子,要不然会闪爆。芯片上沾上丙酮,干了之后说不定比你原先的芯片更难处理。但是难洗的光刻胶或者有机物,没有丙酮洗不干净。

IPA可以很好的溶解ACE,同时也可以和水溶解,就像一个好的媒婆一样,把两个本来没感觉的人,硬是煮了一锅熟饭。

第三个问题:

看一下IPA的病理危害

酒精的危害:

其实只要是有机的溶剂,到蛋白有机的人体内部都会对组织形成破坏。不要过分吸入就可以,如果要长时间操作IPA的话,还是带个防毒面罩。

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原始发表:2022-07-22,如有侵权请联系 cloudcommunity@tencent.com 删除

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