前往小程序,Get更优阅读体验!
立即前往
首页
学习
活动
专区
工具
TVP
发布
社区首页 >专栏 >如何选择光刻胶剥离液

如何选择光刻胶剥离液

作者头像
用户2760455
发布2022-11-16 15:09:31
1.6K0
发布2022-11-16 15:09:31
举报
文章被收录于专栏:芯片工艺技术芯片工艺技术

光刻作为IC制造的关键一环常常被人重视,但是光刻胶最后都是作为牺牲层被去掉的,如何快速、干净的去除工艺后的光刻胶是一个经常被疏忽的问题,但是很重要,直接影响了产品质量。

如何快速有效的去除光刻胶。笔者最近就碰到一些去胶的问题,比如正胶和负胶去除需要的工艺有差别。去胶工艺还和光刻胶受过什么样的工艺处理有关,比如ICPRIE之后的光刻胶、还有湿法腐蚀后的光刻胶。市面上针对光刻胶去除的特殊配方的去胶液有很多种,但需要根据自身产品特性加以选择。

在做砷化镓去除光阻的案例,砷化镓是一种化合物半导体材料,分子式GaAs。立方晶系闪锌矿结构,即由As和Ga两种原子各自组成面心立方晶格套构而成的复式晶格,其晶格常数是5.6419A。室温下禁带宽度1.428eV,是直接带隙半导体,熔点1238℃,质量密度5.307g/cm3,电容率13.18。在其中掺入Ⅵ族元素Te、Se、S等或Ⅳ族元素Si,可获得N型半导体,掺入Ⅱ族元素Be、Zn等可制得P型半导体,掺入Cr或提高纯度可制成电阻率高达107~108Ω·cm的半绝缘材料。

砷化镓也有容易被腐蚀的特点,比如碱性的氨水、酸性的盐酸、硫酸、硝酸等。

去胶,也成为光刻胶的剥离。即完成光刻镀膜等处理之后,需要去除光刻胶之后进行下一步。有时直接采用丙酮+异丙醇的方式就可以去除。但是对于等离子体处理过的光刻胶,一般就比较难去除干净。有的人把丙酮加热到60℃,虽然去胶效果快了一些,但是丙酮沸点是60℃,挥发的特别快,而且丙酮蒸汽也有易燃爆炸的风险,因此找一款去胶效果好的光刻胶剥离液十分有必要。

介绍常见的一款剥离液,该剥离液去胶效果好,但是对砷化镓有轻微腐蚀,不易长时间浸泡。工艺参数因产品和光刻胶的种类而不同,但基本上都要加热。

基本配方如下:

各组分讲解:

1)NMP

N-甲基吡咯烷酮,中文别名:NMP;1-甲基-2吡咯烷酮;N-甲基-2-吡咯烷酮。无色透明油状液体,微有胺的气味。挥发度低,热稳定性、化学稳定性均佳,能随水蒸气挥发。有吸湿性。对光敏感。易溶于水、乙醇、乙醚、丙酮、乙酸乙酯、氯仿和苯,能溶解大多数有机与无机化合物、极性气体、天然及合成高分子化合物。N-甲基吡咯烷酮在锂电、医药、农药、颜料、清洗剂、绝缘材料等行业中广泛应用。

化学性质:在中性溶液中比较稳定。在4%的氢氧化钠溶液中8小时后有50%~70%发生水解。在浓盐酸中逐渐发生水解,生成4-甲氨基丁酸CH3NH(CH2)3COOH。由于羰基的反应,可以生成缩酮或硫代吡咯烷酮..无色液体,有氨味,本品毒性小。能与水混溶,溶于乙醚、丙酮等大多数有机溶剂。能溶解大多数有机与无机化合物、极性气体、天然及合成高分子化合物。

2)乙醇胺

水溶液呈碱性,有极强的吸湿性,能吸收酸性气体,加热后又可将吸收的气体释放。有乳化及气泡作用。能与无机酸和有机酸生成盐类,与酸酐作用生成酯。其氨基中的氢原子可被酰卤、卤代烷等置换。可燃,遇明火、高温有燃烧的危险,蒸汽有毒。

3)二甲基亚砜

二甲基亚砜(简称DMSO)是一种含硫有机化合物,英文Dimethylsulfoxide,分子式为(CH3)2SO,常温下为无色无臭的透明液体,具有吸湿性的可燃液体,既有高极性,高沸点,非质子,水混溶的特性,毒性极低,热稳定性好,与烷烃不混合,能溶于水、乙醇、丙醇、乙醚、苯和氯仿等大多数有机物,被誉为“万能Chemicalbook溶剂”。是常用的有机溶剂中,溶解能力最强的一种。它可以溶解大部份的有机物,包括碳水化合物、聚合物、肽,以及很多的无机盐和气体。它可以溶解相等于自己50-60%重量的溶质(其他一般溶剂只可以溶解10-20%),所以它在样本管理和高速药物筛检中是很重要的。在某些条件下,当二甲基亚砜与酰氯接触时,会发生爆炸性反应。无色液体,具有吸湿性。几乎无臭,带有苦味。溶于水、乙醇、丙酮、乙醚、苯和氯仿

第二款 剥离液

2)二甘醇丁醚

朋友公司生产的光刻胶剥离液,可以与水互溶,省去了丙酮和IPA的清洗。

本文参与 腾讯云自媒体分享计划,分享自微信公众号。
原始发表:2022-09-14,如有侵权请联系 cloudcommunity@tencent.com 删除

本文分享自 芯片工艺技术 微信公众号,前往查看

如有侵权,请联系 cloudcommunity@tencent.com 删除。

本文参与 腾讯云自媒体分享计划  ,欢迎热爱写作的你一起参与!

评论
登录后参与评论
0 条评论
热度
最新
推荐阅读
领券
问题归档专栏文章快讯文章归档关键词归档开发者手册归档开发者手册 Section 归档