X射线光电子能谱（XPS）

性能指标：

温度区间：1.9-400 K 连续控制 降温速度：15-25 K/min（10K < T < 300K），3-6K/min（1.9K< T< 10K） 样品室内径：8- 10mm 磁场强度：±7 T 磁场均匀度：3-5 cm 长度范围内达到0.01% 励磁速率：最大速率高于600 Oe/s 励磁分辨率：高于0.5 Oe 剩磁：小于8Oe （从7T振动模式降场） 样品振动范围：0.1 -8 mm（峰值） 最大测量磁矩：10 emu。

主要应用：

MPMS 系统磁学灵敏度可高达10-9emu，基系统的测量温度范围为<1.9K - 400K，同时设备由超导磁体提供最高到7特斯拉的外加磁场。高温选件可以在室温至1000K区间测量磁矩。

常见问题

问XPS谱峰校正标准是什么呢？

一般是以C-C峰284.6ev进行校正的，总谱、分谱是不同的测试方法，所有不是一起校正的，只校正分谱数据，总谱不用校正；价带谱VB是以刚出峰的位置为0进行校正的；

问XPS误差可能产生原因有哪些？

样品本身污染，或测试过程被周围样品污染；

样品不均匀，这种情况比较常见，因为测试区域仅500微米，不同位置结果差别可能比较大；

问谱图左高右低是什么原因？

正常XPS谱峰，左高右低是常见的，每个元素的谱峰左边高结合能端（即低动能）总会高于低结合能端，所以纵观整个全谱，你可以看到每出来一个XPS峰，就会伴随着谱峰抬升的台阶出现。因为每个XPS峰出现表明有大量该动能的电子逃逸出来，当然也会伴随着逃逸过程中损失能量的电子信号，造成背底抬升。所以如果存在表面污染，样品有序性不好等会引起逃逸电子散射增强的因素存在，都会使得这种抬升效果变得更明显；

问单个元素如果测有不同轨道的谱图，定量以哪个为准？

定量时以元素的特征轨道谱图为准，如果存在多个轨道，切忌重复计算；

问样品不含碳元素，测出来很高，是经过碳污染了吗？XPS测试时候会不会另外引入碳？

XPS测试过程中不会人为的引入碳，任何样品一旦接触空气都会吸附空气中的碳，引起碳污染。对于不含碳元素的样品，因为碳污染，C元素测试结果在60%左右都有可能；

若样品不含C元素，最好提供样品的详细信息，包含哪些元素。测试老师可以根据样品中已有的元素来进行定标校准，以保证结果的准确性；

问XPS分峰的大概步骤是什么？

XPS分峰需要结合其他测试以及样品的实际情况，需要知道样品的详细合成过程等，比较复杂；先确定有多少个峰，打个比方，拟合C的时候，根据材料或者红外拉曼等结果，确定样品中有C-C，C-O，C=O三个键，那就分三个峰，对应好结合能，慢慢调这三个峰的半高宽，越接近越好；

问XPS分峰半峰宽和L-G的设置？

半峰宽控制在1.8以下，几个峰的半峰宽别相差太多，L-G一般设置30，如果感觉拟合的不好，可以设置范围20-40；

https://srdata.nist.gov/xps/selEnergyType.aspx查找标准峰；

问XPS数据处理时，用碳元素进行电荷校正时和分峰的先后顺序是？

一般来说都是先通过碳对谱图进行校正，只有个别C-C结构峰不明显时需要分峰后再校正；

样品要求：

1. 块状和薄膜样品，长宽小于10mm，高度小于3mm(最佳尺寸小于5×5×2mm)； 粉末样品，不少于10mg；刻蚀的样品尺寸尽量做5-10mm的方块；

2. 特别注意：样品接触空气容易受C，N，O，Si等元素污染，测试结果可能会有误差，

3. 价带谱不加收费用；原子百分比含量小于3%的元素可能测不出明显信号

结果展示：