在半导体的制造流程中晶圆的晶圆针测是非常重要的一环,在半导体封装前采用探针台针对半导体的引脚进行自动对准与检测。由于测试时晶圆没有封装,需要控制待测晶圆环境的洁净度,避免空气中的微粒子等污染晶圆。
检测晶圆的响应参数进行特性分类,检测方案主要通过电压输出来激励待测晶圆,通过高速的模拟量监测在给电的过程中的响应特性,同时需要大量开关量控制来探针位置。
该方案选用一款具有16位高分辨率和高达1M的采集速度,可以同时两路波形输出的高速采集与控制卡实现(PCIE-1816)。
PCIE-1816 1MS/s,16位,16通道多功能卡
针对多晶圆的同步测试,可以选择更多的同步采集卡方案。
另外依据不同的数字控制点选配了多款控制卡(PCI-1737/1757/1753 IO)。
PCI-1753 96位数字量I/0卡
该系统在频繁控制探针的同时实现高速量测,需要在多个线程进行同步控制。如果线程间的同步出现问题或出现内存泄漏,会给测试系统带来严重的影响。
研华DAQNavi软件在驱动层实现线程保护功能,可以避免由于应用层的失误而带来的影响,简化了应用层的编写负担。同时可以通过向导式敏捷开发模式迅速实现应用,为快速实现国产化应用打下了基础。
该系统实现了高故障覆盖率测试矢量的晶圆参数测试和功能测试。
本文分享自 智能制造预测性维护与大数据应用 微信公众号,前往查看
如有侵权,请联系 cloudcommunity@tencent.com 删除。
本文参与 腾讯云自媒体同步曝光计划 ,欢迎热爱写作的你一起参与!