射频电极与接地电极处理样品的效果有何不同？

射频电极与接地电极处理样品的效果有何不同？

根据被处理样品放置的位置，共有3 种清洗模式。

悬浮极模式

将样品放置于悬浮极上，此时清洗速度最慢，同时因为未在任何电极板上，故对元器件的损伤也最小，适用于对易受电子损伤的敏感器件的清洗。

它的极板排列如图所示，从上到下分别为阳极—悬浮极—阴极—阳极—悬浮极—阴极，3个极板为一组。

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阴极模式

将样品放置于阴极上，此时清洗速度较快，同时因为未在阴极板上，阴极板实际上直接接地，相对电位较低，故对元器件的损伤也较小，适用于不易受电子损伤的器件进行较强的清洗。

该极板排列如图所示，从上到下分别为阳极—阴极—阳极—阴极，2 个极板为1 组。

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 阳极模式

将样品放置于阳极上，此时清洗速度最快，是最具侵蚀性的加工工艺，因为样品是直接置于阳极上，故对敏感元器件的损伤可能性最大，适用于对非敏感器件高强度的清洗。

该极板排列如图所示，从上到下分别为阴极—阳极—阴极—阳极，2 个极板为1 组。

阳极模式

PLUTO-30系列的设备一般用的都是第三种模式，阳极模式。既不会对器件造成损毁，又有较好的清洗效果。

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射频电极与接地电极处理样品的效果有何不同？

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分别用两块玻璃片放在射频电极和接地电极上，用接触角测试仪测试试验前后的数据，从而观察哪个电极的效果更好。

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接地电极处理前后对比

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射频电极处理前后对比

试验表明样品放在射频电极上的效果要比放在接地电极上效果更好，更明显。

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