射频电极与接地电极处理样品的效果有何不同?
根据被处理样品放置的位置,共有3 种清洗模式。
悬浮极模式
将样品放置于悬浮极上,此时清洗速度最慢,同时因为未在任何电极板上,故对元器件的损伤也最小,适用于对易受电子损伤的敏感器件的清洗。
它的极板排列如图所示,从上到下分别为阳极—悬浮极—阴极—阳极—悬浮极—阴极,3个极板为一组。
阴极模式
将样品放置于阴极上,此时清洗速度较快,同时因为未在阴极板上,阴极板实际上直接接地,相对电位较低,故对元器件的损伤也较小,适用于不易受电子损伤的器件进行较强的清洗。
该极板排列如图所示,从上到下分别为阳极—阴极—阳极—阴极,2 个极板为1 组。
阳极模式
将样品放置于阳极上,此时清洗速度最快,是最具侵蚀性的加工工艺,因为样品是直接置于阳极上,故对敏感元器件的损伤可能性最大,适用于对非敏感器件高强度的清洗。
该极板排列如图所示,从上到下分别为阴极—阳极—阴极—阳极,2 个极板为1 组。
PLUTO-30系列的设备一般用的都是第三种模式,阳极模式。既不会对器件造成损毁,又有较好的清洗效果。
射频电极与接地电极处理样品的效果有何不同?
分别用两块玻璃片放在射频电极和接地电极上,用接触角测试仪测试试验前后的数据,从而观察哪个电极的效果更好。
接地电极处理前后对比
射频电极处理前后对比
试验表明样品放在射频电极上的效果要比放在接地电极上效果更好,更明显。
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