为什么半导体无尘室有黄光区

关于半导体制造，我们常常听到“黄光”、“黄光制程”、“黄光区”的说法。

黄光区到底是什么意思？下面用两张图来说明：

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是指黄色灯照明！波长约570纳米到590纳米的黄色灯。

原因是：光刻胶的感光范围通常位于13.5nm-500nm，这意味着在这个范围内的光线可以引发光刻胶的化学反应。而刚好黄光远离这些波长！

目前半导体用光刻胶，主要分为5个种类：g线光刻胶，i线光刻胶，KrF光刻胶，ArF光刻胶和EUV光刻胶。

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另外：

黄光比白光或其他颜色的光更柔和，因此它不太可能在设备或晶圆的表面产生刺眼的反射或眩光。

使用黄光可以确保在光刻过程中，颜色敏感的化学品或其他材料的颜色不会受到其他光源的影响或失真。

相对于其他光源，黄光对人眼更为友好，尤其是在长时间的操作下，减少眼睛的疲劳和刺激。

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