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离子注入

今天聊一下半导体工艺的一个知识,离子注入。离子注入是半导体掺杂以及改性常用的一个工艺。...离子注入机就是很关键的一环。...注入机是高压小型加速器中的一种,是由离子源得到所需要的离子,经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流,用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入,还能用于太阳能电池等的制造。...http://mpvideo.qpic.cn/0bf2mabzmaad2uajkm5oabpvgygdszqahfqa.f10002.mp4?...目前,全球离子注入机根据其下游应用不同,可以分为IC离子注入机和光伏离子注入机,IC离子注入机方面,美国的应用材料几乎垄断了市场,占据了70%左右的市场份额,其次为Axcelis(亚克士),占据了近20%

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离子刻蚀技术

最早报道等离子体刻蚀的技术文献于1973年在日本发表,并很快引起了工业界的重视。...等离子刻蚀的原理可以概括为以下几个步骤: ● 在低压下,反应气体在射频功率的激发下,产生电离并形成等离子体,等离子体是由带电的电子和离子组成,反应腔体中的气体在电子的撞击下,除了转变成离子外,还能吸收能量并形成大量的活性基团...在平行电极等离子体反应腔体中,被刻蚀物是被置于面积较小的电极上,在这种情况,一个直流偏压会在等离子体和该电极间形成,并使带正电的反应气体离子加速撞击被刻蚀物质表面,这种离子轰击可大大加快表面的化学反应,...由于电子在磁场和电场的共同作用下将作圆柱状回旋运动而不是电场下的直线运动,磁场的存在将直接导致反应气体电离截面的增加,磁场的引进会增强离子密度,并使得等离子刻蚀技术可以在更低气压下得以运用(<10mT)...由于离子密度的增加,撞击表面的离子能量也可以在不降低刻蚀速率的情况下被降低,从而提高刻蚀选择比。

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离子电池

说到锂离子电池,一般做硬件的人,都应该想到一下几个部分: 电芯,电量计,电池保护板,电池充电电路。...For example,电池参数: 电芯: 根据锂离子电池所用电解质材料不同,锂离子电池可以分为液态锂离子电池(li thiumion battery,简称为LIB)和聚合物锂离子电池(polymer...记住:锂离子电池没有记忆效应(如镍镉电池,长期不彻底充电、放电,易在电池内留下痕迹,降低电池容量的现象) 即cell,有单芯,双芯,3芯,4芯。...所以,在锂电池设计中,可从以下几点着手:   1、禁止电池过充到4.2V以上;   2、禁止电池过放到2.75V以下;   3、在金属外壳上装上防爆阀;   4、工艺过程中防短路。

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离子清洗机中射频等离子体的工作机理

在现代科技的推动下,等离子体技术在各个领域中扮演着重要角色。而PLUTO-T型等离子清洗机作为其中的一员,其独特的工作机理使其成为清洗领域的一颗璀璨明星。...PLUTO-T型等离子清洗机采用射频等离子体来进行清洗工作。射频等离子体是一种高能离子化的气体,具有高温、高能的特点。其工作原理基于电离和化学反应的相互作用,通过释放大量能量来清洗物体表面。...具体来说,PLUTO-T型等离子清洗机中的射频等离子体是通过一个射频发生器产生的。该发生器会产生高频电场,将气体离子化并加热,形成高温高能的等离子体。...这些等离子体被喷射到待清洗的物体表面,通过碰撞和化学反应来去除表面的污垢和污染物。射频等离子体清洗的过程中,有两个主要的作用机制。...总而言之,PLUTO-T型等离子清洗机中射频等离子体通过离子轰击和化学反应的双重

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离子清洗机中氧等离子体刻蚀对石墨涂层的性能研究

在氧等离子体轰击石墨涂层的过程中,基本的反应就是,氧等离子和石墨涂层中的表层C原子发生氧化反应,不论是生成了CO2或者CO,在等离子清洗机的反应腔内,是属于一种真空状态,所以反应的气体就会被抽离真空反应腔...,而相反各项异性水平刻蚀机制是指的是在同时刻蚀缺陷的情况下,氧等离子体刻蚀会优先寻找下层的缺陷在上层石墨涂层的缺陷被刻蚀的同时氧等离子体会优先寻找下层石墨涂层的缺陷,对于整体的石墨涂层陷刻蚀速率远大于非缺陷处的刻蚀速率...PLUTO-T等离子清洗机处理石墨案例       处理前  样品上贴了一片盖玻片作为阻挡        在经过PLTUO-T等离子清洗机处理之后,我们可以发现相对于处理前,处理后发生了很明显的变化。...,等离子体的流量,一定程度上可以制备出可控缺陷的石墨涂层。...说明氧等离子体刻蚀石墨涂层这一方法在制备石墨涂层方面有潜在的应用。

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离子注入工艺的设计与计算

介绍工艺之前,我们先聊一下昨天一个朋友提到的日本日新的离子注入设备。日本日新是全球3大离子注入设备商之一。 1973年的时候,该公司就开始做离子注入的工艺设备。 目前的主要业务设备如上表。...重点介绍激光领域用到的一款设备: 主要是注入H离子用的,可以达到400KeV的H+离子注入。...日新株式会社将在扬州经济技术开发区投资兴建离子注入机设备生产厂。 离子注入工艺参数 00 离子注入就像上图一样,把离子砸到晶圆中。涉及到使用的力度、数量、角度,砸进去的深度等。...设备可以选择工艺需要的价态离子进行注入。 如果单电荷可以做到400KeV的能量的话,对应3+离子可以做到1200KeV,可以直接倍速关系。...如果我们只知道需要掺杂的剂量,和离子能量,如何计算注入离子在靶材中的浓度和深度 例如一个140KeV的B+离子,注入150mm的6寸硅片上,注入剂量Q=5*1014/cm2,衬底浓度2*1016

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4种MySQL分页查询优化的方法,你知道几个?

前言 当需要从数据库查询的表有上万条记录的时候,一次性查询所有结果会变得很慢,特别是随着数据量的增加特别明显,这时需要使用分页查询。对于数据库分页查询,也有很多种方法和优化的点。...表名:order_history 描述:某个业务的订单历史表 主要字段:unsigned int id,tinyint(4) int type 字段情况:该表一共37个字段,不包含text等大型数据,最大为...一般的分页查询使用简单的 limit 子句就可以实现。...: 第1条语句:3674ms第2条语句:1315ms第3条语句:1327ms第4条语句:3710ms 针对上面的查询需要注意: 比较第1条语句和第2条语句:使用 select id 代替 select...对于使用 id 限定优化中的问题,需要 id 是连续递增的,但是在一些场景下,比如使用历史表的时候,或者出现过数据缺失问题时,可以考虑使用临时存储的表来记录分页的id,使用分页的id来进行 in 查询。

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Layui分页_pagehelper分页使用

本文介绍了LayUI分页,LayUI动态分页,LayUI laypage分页,LayUI laypage刷新当前页,分享给大家,具体如下: 效果图: 一、引用js依赖 主要是jquery-1.11.3....min.js 和 layui.all.js , json2.js用来做json对象转换的 二、js分页方法封装(分页使用模板laytpl) 1、模板渲染 /** * 分页模板的渲染方法 * @param.../** * layuilaypage 分页封装 * @param laypageDivId 分页控件Div层的id * @param pageParams 分页的参数 * @param templateId...分页需要渲染的模板的id * @param resultContentId 模板渲染后显示在页面的内容的容器id * @param url 向服务器请求分页的url链接地址 */ function renderPageData...”).click(); }; 三、页面代码 1、分页表格及分页控件 许可名称许可编码菜单名称许可链接 2、分页模板 { {# layui.each(d.list, function(index,

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离子带给动力电池的「爱与恨」

目前各国科学家及研发机构也在寻找克服锂离子电池缺陷的解决方法,改善使用痛点。 短路的元凶究竟是谁? 锂离子电池最早由索尼在1991年推出,其原理是依靠离子在电极间运动产生能量。...而且,锂离子电池重量更轻、能量密度更高,更加适合用于驱动电动汽车。 与其优点比起来,锂离子电池的缺点很少,但是每个缺点都十分致命。 这其中严重的,就是锂离子电池内部的枝晶。...不过与锂相比,钠更重,制成的钠离子电池储能能力也不如锂离子电池。 换种方式,继续使用锂 除了锂离子电池,现在也有研究机构在研发锂金属电池。...与锂离子电池不相同的是,锂金属电池采用金属锂作为负极,依靠金属锂的氧化反应产生电能;而锂离子电池使用石墨作为负极,以含锂化合物作为正极,依靠锂离子不断获得、失去电子来实现电能传输。...与锂离子电池不同,锂金属电池中的锂离子获得电子后,直接以金属锂颗粒的形式,附着在负极上,从而形成枝晶状图案。

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分页

分页内存管理方案允许进程的物理地址空间是不连续分配的。分页避免了将不同大小的内存块备份到交换空间上的问题。分页可以说是工程实践中的一种伟大创造。分页是通过硬件和操作系统配合来实现的。...现在的页,一般都是4KB或者8KB大小的。有的CPU支持多种分页大小。 页表中每一个条目通常为4B,不过这是可以改变的。分页的一个重要特点是用户观点的内存和实际物理内存的分离。...当内存越来越大,页表大小仍旧是4KB的时候,那么页表就会变得非常大。就算是4GB内存,每页4KB,那也会有2^32/2^12这么多条目。一个页表高大100万的条目。...每个条目通常4B,那么页表的大小就达到惊人的4MB。 为了解决页表过大的问题,提出了两层分页算法。即页表在分页。两层分页算法在32位计算机的时候,看起来还是不错的。...只好将分页的层数加多。 分页的另一个优点是可以共享代码。这对于可重入代码而言是非常重要的,每个进程只需要有自己的数据页即可。代码共享。可重入代码是不能自我改变的代码。

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mybatis的逻辑分页和物理分页_mybatis分页原理

物理分页Mybatis插件原理分析(三)分页插件 Mybatis提供了一个简单的逻辑分页使用类RowBounds(物理分页当然就是我们在sql语句中指定limit和offset值),在DefaultSqlSession...提供的某些查询接口中我们可以看到RowBounds是作为参数用来进行分页的,如下接口: public List selectList(String statement, Object parameter...{ /* 默认offset是0**/ public static final int NO_ROW_OFFSET = 0; /* 默认Limit是int的最大值,因此它使用的是逻辑分页...public int getOffset() { return offset; } public int getLimit() { return limit; } } 逻辑分页的实现原理...: 在DefaultResultSetHandler中,逻辑分页会将所有的结果都查询到,然后根据RowBounds中提供的offset和limit值来获取最后的结果,DefaultResultSetHandler

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离子清洗机技术要点讨论-1

离子体表面处理技术 等离子体按照传统分类方式可以分为低温和高温等离子体,其二者的区别主要在于等离子体的温度不同,等离子体的温度是依据电子和离子温度两者定义的。...当二者相等时就是高温等离子体,反之是低温等离子体。相比于普通的化学反应,低温等离子体中的活性粒子活性更强种类更多,因此依赖于此活性粒子发生的化学反应会更加剧烈,更加充分。...现有等离子清洗设备都是通过改变功率、增加清洗时间以及改变压强等方式以 影响清洗效果,针对不同的清洗设备和不同的基片,所采用的清洗工艺也存在着差别,同时在清洗过程中因为缺乏对放电腔体内部等离子特性的测量手段...现有射频等离子体设备只能设定功率,并考察在一定放电功率下设备的清洗效果。而实际清洗效果是和等离子体密度,电子密度等参数直接相关的。...在现有研究手段中,因测试手段缺乏和系统理论尚存在不完善,目前还不能建立起等离子体参数与清洗效果的对应关系。

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