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汉钟精机:公司半导体真空泵在清洁、中度严苛、严苛制程都有在推广使用

【汉钟精机:公司半导体真空泵在清洁、中度严苛、严苛制程都有在推广使用】财联社3月6日电,汉钟精机接受机构调研时表示,公司氢能源用空压泵目前还在研发、验证阶段。公司半导体真空泵在清洁、中度严苛、严苛制程都有在推广使用,具体运用于LL、去胶、刻蚀、PVD、CVD等制程。目前多用于相对洁净的制程。

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  • 原文链接https://kuaibao.qq.com/s/20230306A05SO000?refer=cp_1026
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