终于出狠招了：DUV光刻机也不准卖给中国？都是美国在捣鬼！

运营商财经 康钊/文

近日，全球最大的光科技企业ASML证实，将在今年夏季前开始禁止向中国出售部分深紫外光（DUV）光刻机，这无疑会给中国芯片企业造成巨大的麻烦，而背后当然是美国干的。

DUV光刻机成了美国可以卡别人脖子的光刻机设备。荷兰ASML公司发给媒体的一份声明中称：新的出口管制措施侧重于先进的芯片制造技术，包括最先 进的沉积设备和浸润式光刻系统。由于该等即将出台的法规，ASML将需要申请出口许可证才能发运最先 进的浸润式DUV系统。

说白了，荷兰ASML公司要想卖给中国浸润式DUV光刻机需要审批了，而能否通过审批，那就不知道了，荷兰肯定要听美国的。

从措辞来看，似乎也不是所有DUV光刻机不能卖给中国，而是指所谓“最先 进”的浸润式光刻系统，即TWINSCAN NXT：2000i及后续推出的浸润式光刻系统。

荷兰ASML公司的DUV光刻机主要有三款，其中两款属于“最先 进的”，还有一款可以卖给中国企业，不需要审批。

不能低估此事对中国半导体产业的DUV光刻机影响，主要是一定时期内会对中芯国际等中国芯片代工企业的能力提升有很大影响。中芯国际一直在向7纳米甚至更高制程芯片技术的量产进军，而没有先进的光刻机，是很难实现的。

之前，中芯国际就已经不能买到EUV光刻机，而如今连DUV光刻机都买不到的话，就更麻烦了。

也不用过于悲观，因为并非所有DUV光刻机都不能向中国出售。荷兰ASML的一个声明中称，新的出口管制措施并不针对所有浸润式光刻系统，而只涉及所谓“最先 进”的浸润式光刻系统。

在声明中，荷兰ASML公司认为，先进程度相对较低的浸润式光刻系统已能很好满足成熟制程为主的客户的需求。意思是，被允许向中国出售的光刻机已经可以满足中国市场的需求了。

ASML公司的CEO也警告，美国对中国采取更严苛的出口限制，迫使中国全力强化自家半导体产业，最终美国不仅搞不垮中国，很可能适得其反。

看来，中国也只能走这条路，自己全面研究半导体产业，不依赖于国外，否则总会被卡脖子，中国必须下定决心了。

（责任编辑：韩丽）