杏坛投资笔记230419

半导体设备射频电源的国产替代

射频电源是等离子体加工设备核心零部件。

射频电源是产生等离子体的核心零部件，对等离子体加工设备的加工能力和加工效果影响很大。主要影响领域包括半导体中刻蚀、薄膜沉积、离子注入、清洗去胶等环节和光伏中薄膜沉积环节，射频电源的性能对形成的等离子体质量和稳定性至关重要，因此对于输出方式、输出效率、输出稳定性等都有极高要求，是半导体零部件中高技术壁垒的零部件之一。

射频电源价值约为设备成本12%，2022年射频电源国内市场空间约55亿元。

射频电源主要被美商MKS、AE垄断，国产化率几乎为零。射频电源由于自身高技术壁垒和研发难度，国内市场长期被美商垄断，主要企业为美国MKSInstrument（万国仪器）和Advanced Energy（先进能源工业），2021年MKSInstrument半导体业务（包含其他产品）的营业收入为18.29亿美元，Advanced Energy半导体业务（主要为射频电源）的营业收入为7.1亿美元。

目前美国是全球最大的射频电源生产地区,占有大约46.62%的市场份额,之后是日本,占有大约18.35%的市场份额。

关于国产射频电源的能力，某个专家访谈中提到，

射频电源，它直接关系到腔体中的等离子体浓度、均匀度和稳定度，是刻蚀、薄膜沉积CVD等重要机台最关键的零部件之一。去胶机、离子注入机和清洗机也会使用到射频电源这个部件。

传统的国产射频电源主要应用在其他工业低端设备上，所以不能说国内完全没有这种产品，只不过在半导体及泛半导体产业目前来看还达不到应用水平。究其原因，主要的技术难点在于电源的波形和频率、功率等参数不够稳定，精度达不到要求，相较于MKS、AE等国外企业仍旧有一定的差距。

关于射频电源的研发和客户验证情况，英杰电气2022年9月表示：公司做了4年射频电源，有中端和高端产品。中端产品在2021年初已经投向市场。高端产品有1-2个厂商正在测试，运用到半导体行业的射频电源难度大一些，因为其生产周期长，生产过程中不能出现瑕疵，目前还需要进行腔体以及内部气体的匹配。这项电源技术公司处于国内前列，已经可以和国外产品开始竞争，但还需要客户认可的过程。