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南大光电:多款ArF光刻胶产品正在下游客户处验证

【南大光电:多款ArF光刻胶产品正在下游客户处验证】财联社4月21日电,南大光电在互动平台表示,公司正在认证的ArF光刻胶主要集中在90nm~28nm工艺节点,目前有多款产品正在下游客户处验证。规模量产时间需要根据客户订单情况确定。公司制备ArF光刻胶的核心原材料由公司自主研发生产。

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  • 原文链接https://kuaibao.qq.com/s/20230421A06KZN00?refer=cp_1026
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