赛微电子：北京FAB3产线导入MEMS客户超15家 开展合作产品项目数十个

集微网消息 5月23日，赛微电子披露最新调研纪要称，北京 FAB3 的一期产能为 1 万片/月，二期产能为 2 万片/月，合计为 3 万片/月，公司与武汉敏声合作建设的滤波器产线已包括在二期产能中。

据悉，赛微电子与武汉敏声以共同购置设备的方式合作建设的北京 8英寸 BAW 滤波器联合产线已于 2022 年底实现通线，双方一直就数款 BAW 滤波器开展相关工作，工艺开发及试产工作符合预期。该产线初期建成的产能为 2000 片晶圆/月，后可扩展至 1万片晶圆/月的水平。

自 2020 年 9 月通线以来，北京 FAB3 产线已经成功导入超过 15 家国内外知名 MEMS 客户，已经开展合作的产品项目数十个，正在持续推动 MEMS 硅麦、电子烟开关、惯性器件、BAW（含FBAR）滤波器、振镜、气体、微流控、光通信等不同类别、不同型号产品的工艺开发及产品验证。

赛微电子认为，随着万物互联与人工智能时代的到来，物理世界与数字世界需要相互连接的桥梁，基础感知及执行器件的应用场景将越来越丰富，通过半导体工艺批量标准化制造的 MEMS芯片，具备小型化、低成本、低功耗、高集成度等突出特点，正在对部分传统传感器件进行渗透及替代，拥有非常良好的发展前景，随着公司产业链生态的逐步建立和培育，北京 FAB3的产能将逐步得到充分利用。

关于瑞典产线和北京产线的产能利用率和良率均较低的原因，赛微电子表示，瑞典 FAB1＆FAB2 的定位属于中试+小批量产线，其产能利用率及生产良率均受到工艺开发业务的影响，而工艺开发对产线的产能利用率天然低于晶圆制造业务，且由于属于开发试验阶段，生产良率并非是产线与客户双方在当前阶段所首要注重考虑的因素。除国际政治环境、市场波动及客户结构调整因素外，此前在预期针对德国 FAB5 的收购可以快速实现的背景下，公司持续推动瑞典、德国产线之间的产能扩充、迁移及结构调整工作，对瑞典产线的定位、其自身的运营及产能的使用也构成显著影响。

北京 FAB3 的定位属于规模量产线，对生产良率水平的要求相对较高，在瑞典 ISP 审查并最终否决了公司瑞典 FAB1＆FAB2 与北京 FAB3 技术交易的背景下，其自 2021 年第二季度末才开始实现正式生产，北京 FAB3 在 2022 年合计计算的总体产能为 82,500 片晶圆/年，产能利用率较低的原因是其仍处于产线运营初期，面向客户需求产品的工艺开发、产品验证及批量生产需要经历一个客观的过程，2022 年已实现量产的品类较少，大部分仍处于工艺开发、产品验证或风险试产阶段，产能爬坡较为缓慢。