英诺激光（301021.SZ）：公司在半导体领域提供的主要产品为碳化硅退火制程的激光器
格隆汇6月6日丨有投资者在投资者互动平台向英诺激光(301021.SZ)提问，“贵公司的微功率激光器技术，实际应用于半导体后序制程中的哪个工艺？”
公司回复称，公司在半导体领域提供的主要产品为碳化硅退火制程的激光器，亦有少量应用在硅基半导体检测等关键制程的紫外和深紫外等激光器，应用于前道制程。
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