运营商财经网康钊：中国攻克28纳米国产离子注入机

运营商财经 康钊/文

就在大家关注光刻机领域的同时，中国已经攻破了七大芯片设备之一的离子注入机技术，这回卡脖子的芯片设备又少了。

大家都知道光刻机是什么，但很少有人知道离子注入机时什么。其实，与光刻机一样，离子注入机也是芯片制造中的关键装备。

离子注入机是高压小型加速器中的一种，它是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入，还用于金属材料表面改性和制膜等。

芯片的基础材料是硅片，为了让硅片具有特定的导电性能，就要向这种材料注入各种元素。这有点像做蛋糕，往里面添加芝麻、慕斯等食材，可以让蛋糕更具风味。离子注入机就是起这个作用。

比如，中束流、大束流是指向硅片注入离子的效率，束流越大，每分钟注入的离子数越多。因此，大束流离子注入机具有很高的科技含量。

以前中国企业都习惯用国外的离子注入机。全球离子注入机主要被美国应用材料、美国亚舍立科技垄断，美国企业在离子注入机的行业集中度十分高。所以，当拜登提出计划进一步限制半导体设备出口至中国后，离子注入机也成了中国芯片企业关注的半导体设备之一。

此次曝出的中国企业突破28纳米离子注入机技术，这对中国非常有利。具体来说，是中国电子科技集团第 48 研究所下属企业实现了技术突破，这是国内较早专注于集成电路领域离子注入机业务的高端装备供应商。目前产量也不是很大，据称年产能达 30 台，但很有用。

（责任编辑：韩丽）