心芯相连先进铜互连设备研发项目竣工开业

集微网消息，7月26日，上海心芯相连半导体技术有限公司（以下简称“心芯相连”）位于闵行开发区临港园区的先进铜互联设备研发项目竣工交付，迎来开业。

心芯相连是由新阳硅密、远致星火、上海新阳共同打造的半导体高端制造设备与工艺一体的核心供应商，专注于前道大马士革金属互联工艺的开发，旨在填补国内半导体先进制成电镀设备空白，完善国产化半导体装备供应产业链。

据悉，该研发制造中心具备百级、千级标准化半导体研发制造无尘车间，一流的半导体检测设备及工艺试验设备，将专注于先进铜互联的研发和制造。

今年2月6日，心芯相连半导体先进铜互连设备研发项目临港研发制造中心开工。历时6个月即实现了竣工交付。