助力国产半导体设备产业发展 普达特科技OCTOPUS平台首台套出货

8月8日，普达特科技有限公司（以下简称“普达特科技”）在徐州高新区电子信息产业园举行OCTOPUS平台首台套出货仪式。

启动仪式现场

作为半导体设备产业的重要一员，普达特科技凝聚行业内拥有领先技术优势和经验的核心团队开展半导体设备自研，瞄准用于半导体晶圆和太阳能电池制造行业的核心工艺设备，将最新的半导体设备技术与泛半导体机电自动化技术结合，开发出高生产力设备，积极推动国产半导体设备产业发展。

OCTOPUS平台产品

在半导体设备领域，普达特科技业务目前主要包含CUBE 系列和OCTOPUS系列两大平台。此次出货的半导体清洗设备是OCTOPUS平台的首发产品。

OCTOPUS系列半导体清洗设备，在尺寸、工艺性能、产能、吞吐量等方面都处于业内领先地位，吞吐量较同类产品高出17-25%。

OCTOPUS高产能湿法处理平台标配16个腔体，特别适用于大规模量产客户，追求最大化的单位时间晶圆产出。OCTOPUS的腔体和化学药液供应系统采用同垂直面阵列布局，在提供高产能的同时，也能保证最佳的化学药液回收效率，从而为客户降低化学品消耗成本。

另外，OCTOPUS提供多种晶圆Chuck配置方案，给客户提供晶圆任意单面清洗，双面清洗，边缘清洗和刻蚀等特制化的需求。在化学药液配置能力方面，OCTOPUS主打平台化和分组化的概念，既可以在单一应用上靠多腔体提升产能，也可以在同平台上分组不同应用配置满足研发的各种需求。所以OCTOPUS产品，将是满足大产能客户从研发到量产的高性价比湿法应用选择方案。OCTOPUS平台系列产品成功填补了国内半导体制造领域中高产能、低成本、适用性广的设备空白，将加速助力半导体设备产业国产化发展。

随着地缘政治不确定性持续升级，尤其是美国、日本和欧洲不断升级半导体出口管制，实现半导体供应链自主可控战略意义重大。半导体设备作为主要“卡脖子环节”，其产业国产化有利于半导体产业链不断完善，对于实现中国芯片产业的全面崛起，促进科技创新和提高国家核心竞争力具有重要的战略意义。

普达科技徐州基地

普达特科技坐落于徐州的生产基地，具备完整的生产和物料控制ERP系统，先进的制造流程和质量控制体系，通过对生产作业的调度，监控、资源配置和生产过程的优化，可有效提升生产效率，保障产品质量。目前基地半导体清洗设备产能100台/年，未来可至300台/年，充足的产能可支持市场的快速扩张。

普达科技CEO刘二壮致辞

普达特科技CEO刘二壮表示，全新的OCTOPUS半导体单片清洗设备平台首台套出货，标志着普达特半导体和泛半导体设备业务已进入快车道。 “在徐州市政府的产业政策支持下，我们将持续投入研发，继续提升设备性能和开发新产品；同时积极布局新的业务板块，为客户提供先进、稳定、可靠的核心设备，为早日实现半导体设备自主化贡献我们的力量。”

扬子晚报/紫牛新闻见习记者 赵天

校对 李海慧