半导体行业控温chiller提供高低温温控系统

半导体温控装置Chiller 主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度准确控制，产品有流体氟化液控温、气体冷热快速温变、快速温变卡盘、低温气体制冷机、直冷型制冷机组等。冠亚制冷公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），实现系统快速响应、较高的控制精度。

1、chiller系列：

chiller系列分为7℃~40℃、-25℃~40℃、-45℃~40℃、30℃~90℃ 变频 双路、-80℃~80℃ -100℃~80℃ 复叠制冷、换热控温（无压缩机）（20℃~90℃）等，chiller 的排吸气温度（压力）、冷凝温度、冷却水温度（压力）、进出液体（气体）温度（压力）、用电功率、各部件电流、电压、水箱液位等重要信息均通过传感器接入控制系统进行管理监控记录。

2、Chiller 气体降温（-40℃、-80℃、-100℃）：

Chiller 气体降温控温系列将气体（无腐蚀）降温使用：如干燥压缩空气、氮气、氩气等常温气体通入到LQ系列设备内部，出来的气体即可达到目标低温温度，供给需求测试的元件或换热器中。

3、Chiller 直冷型制冷（-40℃、-80℃、-150℃）：

Chiller 直冷型制冷将制冷系统中的制冷剂直接输出蒸发进入目标控制元件（换热器）换热，从而使目标控制对象降温。具备换热能力相对于流体（气体）输送入换热器换热能力更高，这样特别适用于换热器换热面积小，但是换热量大的运用场所。也可以如气体捕集运用，将制冷剂直接通入捕集器蒸发，通过捕集器表面冷凝效应，迅速捕集空间中的气体

4、循环风控温装置 AI (-65℃~125℃、-80℃、-105℃）：

循环风控温装置运用于半导体设备高低温测试。电子设备高温低温恒温测试冷热源，可连续长时间工作，自动除霜,除霜过程不影响库温，模块化设计，备用机替换容易(只要一台备用机组即可)，构筑一套高低温恒温室变的简单(根据提供的图纸，像搭积木一般拼接好箱体，连接好电和水,设定好温度即可工作)

5、射流高低温冲击测试机 AES(-45℃、-60℃、-80℃、-100℃、-115℃~225℃）：

射流式高低温冲击测试机给芯片、模块、集成电路板、电子元器件等提供准确且快速的环境温度。是对产品电性能测试、失效分析可靠性评估的仪器设备。

6、快速温变控温卡盘MD (-75℃~225℃）：

快速温变控温卡盘产品可以实现快速温度变化，准确控制温度，提供开放的表面平整工作平台，快速升降温、恒温控制，运用于RF器件和高密度功率器件测试，也可以运用于实验室平板快速冷却等

7、废气冷凝回收装置 (-35℃、-75℃）：

废气冷凝回收装置应用于气体冷凝液化回收。将废气或其他电子气体通过引风机(真空泵）接入到设备，通过降低温度液化捕集分离到收集罐中，其他气体排放，从而实现气体的冷凝捕集回收。

8、液冷CDU分配控制单元 ZLFQ系列：

液冷CDU分配控制单元 ZLFQ系列适用于半导体测试，电子设备恒温测试，冷却服务器配套基础设施，及其他流体控温场所。是具备独立的换热系统、供电系统和监控系统的模块化智能设备。