码刻 | 祝贺码荟成员矽行半导体交付首台国产明场检测设备

近日，苏州矽行半导体技术有限公司（下文简称“矽行半导体”）宣布，其首台面向12英寸晶圆65~90nm技术节点的宽波段明场缺陷检测设备TB1000正式交付客户。这是中国半导体前道缺陷检测装备产业的一次重大突破，矽行半导体在国产半导体产业创造了一个新的里程碑。

矽行半导体的技术骨干全部来自国内外知名大学，博硕比例超过80%，拥有多年半导体行业从业经验，旨在打造国内乃至全球领先的半导体检测装备龙头企业。源码资本为矽行半导体A轮领投方。

在半导体制造流程中，前道瑕疵检测是半导体流程制造中的关键工序，尤其是明场缺陷检测，能够检测更广泛的缺陷类型，是其中最为关键的一环，也是提高产品良率、降低生产成本、推进工艺迭代的保障。

同时，明场缺陷检测设备也是技术难度最高的前道检测设备，一直以来由国外龙头企业垄断。这次矽行半导体明场缺陷检测设备的交付，打破了垄断，也代表着中国在半导体光学检测设备领域迈出了坚实的一步。

图注：TB1000实现了精密光机电关键核心部件的自主可控，同时采用了先进的信号处理算法，有效提高信噪比，显著提升了设备在关键制程的缺陷检测灵敏度。‍‍‍‍‍‍‍‍

尽管相较国际半导体设备龙头企业，国内半导体前道量测与检测设备公司在进入市场时间、经营规模、产品种类、技术发展等方面相对落后，但近年来国内半导体产业发展迅速，国产检测设备的突破，有助于在产业结构的生产端建立成本和技术优势，也能对应用端（云计算、人工智能等）有积极的影响。

检测领域的突破有助于增强国产半导体领域企业的信心，从而让更多企业愿意在人才培养，研发创新等方面持续投入。其成果和利润的溢出效应，将为国内半导体产业链企业在国际市场带来更强的国际竞争力。

源码投资于科技驱动的创新，投资于持久真实价值的创造。源码将持续支持半导体技术创新的公司，持续在科技产业链中深入投资布局。