顺利交付！超通智能&浙江众凌自研超精密FMM激光装备圆满交付

超通智能超精密FMM激光装备顺利交付

超通智能

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一、什么是FMM

随着现代电子设备的高速发展，OLED是目前广泛应用于手机、电视、手表等的一种新型显示技术。FMM（Fine Metal Mask高精度金属掩模板）是OLED蒸镀工艺中的重要组成部分零部件，是用来制作R、G和B分色至关重要的重要耗材，之前，FMM生产制造过程中关键的激光加工工序所需的激光切割、修复、清洁、研磨设备主要被韩国日本等海外制造厂商垄断。

二、装备介绍

超通智能在FMM设备的研发中，不断创新突破，自主研发设计了飞秒激光整形光路、超精细三维修补头、激光/机械研磨加工头等多个重要组成部件，结合自研的加工控制软件实现了加工精度和质量，FMM像素点小开口加工精度<1um，taper角加工精度<±1°，开发了诸多创新型功能，相比韩国进口设备加工效率15%以上，开发出快速建模及工艺验证方法，帮助客户很大程度上减少加工文档制作及工艺验证周期。>

超通智能超精密金属掩膜板（FMM）激光切割修复清洁研磨一体化智能装备整体设置4个功能模块：

激光切割

利用超快激光切割FMM两端夹爪区（U形区），自动上下料对位切割，热影响区宽度小于20um。

激光修复

通过自主研发的超快激光光路及三维加工头，实现开口蚀刻不良、孔洞异形、R角缺陷等形状缺陷修复，小开孔尺寸10um，小R角1um，小开口加工/修复精度??复精度<±1°。>

激光清洁

通过激光清洁工艺及相应加工头实现光阻残留、药剂残留、异物、胶状异物、透明异物、纤维类等异物清洁。

激光/机械研磨

集成在线测高系统，可实现2nm测高分辨率，100um高度测量范围。在线测量凸点位置和高度，通过激光研磨工艺或研磨带研磨方式去除凸点。

三、客户公司简介

浙江众凌科技有限公司成立于2020年，是目前国内向头部G6面板厂量产交付的一家国产FMM企业，也是当前行业内一家将整条产业链从OLED蒸镀工艺——FMM生产——Invar材料生产技术链条打通的FMM企业，打破了日韩对我国FMM材料的垄断，填补了国内的量产空白。

通过本次首台超精密FMM激光装备的顺利交付，我们超通智能公司也将不断积极突破技术壁垒，持续为广大行业客户提供高性价比、先进技术的精密激光装备和服务，提高激光装备在3C电子这一细分领域的市场渗透率，推动行业的进一步发展。