美能探针式台阶仪 | 赋予ITO薄膜高精度检测的数据处理功能

为了保障钙钛矿太阳能电池的性能与质量，电池厂商往往都会关注其沉积薄膜的各种参数信息，从而采取有效的方式进行薄膜优化，提升钙钛矿太阳能电池的性能。「美能光伏」拥有的美能探针式台阶仪，凭借其出色和强大的数据处理功能，并使用不同位置的多点自动测量确认ITO薄膜等各种类型薄膜的高度、薄膜应力等一系列参数信息，通过这些参数信息的反馈，更好的帮助电池厂商进行太阳能电池性能的提升！本期「美能光伏」将给您介绍美能探针式台阶仪出色和强大的数据处理功能！

美能探针式台阶仪

美能探针式台阶仪是一款先进的微纳测量仪器，采用了出色的仪器系统构造和最优化的测量及数据处理软件，从而实现可靠、高效、简易以及完善的样品测量。相对于传统表面形貌测量，美能探针式台阶仪采用的接触式表面形貌测量是一个突破性的发展，其接触力最小可达1mg，且对衬底材料没有什么特别的要求，具有充分的采样灵活性。

● 配备500W像素高分辨率彩色摄像机

● 台阶高度重复性1nm

● 超高直线度导轨、反应样品微小形貌

● 亚埃级分辨率、13μm量程下可达0.01埃

● 高低噪比与低线性误差

薄膜粗糙度、波纹度——高效测量

在测量钙钛矿太阳能电池的沉积薄膜方面，美能探针式台阶仪可通过2D/3D纹理，量化薄膜的粗糙度以及波纹度，并运用出色的数据处理软件中的软件过滤功能将测量值分离为粗糙度和波纹度的部分，从而计算出诸如均方根（RMS）粗糙度等20余项粗糙度参数。

薄膜粗糙度示意图

与传统的薄膜测量方式不同，美能探针式台阶仪可测量薄膜表面的2D/3D形状或翘曲，包括对晶圆翘曲的测量。通过对这些角度的针对性测量，生成实时数据于电脑软件，清晰客观的给予电池厂商准确的测量结果。

薄膜应力——针对样品精密计算

由于在产业化生产过程中，太阳能电池的薄膜沉积工艺经常会出现薄膜应力，薄膜应力是指沿截面厚度均匀分布的应力成分，它等于沿所考虑截面厚度的应力平均值，薄膜应力会对薄膜的机械性能产生较大的影响，严重时还会使薄膜发生变形，大大影响到了测量效率与测量结果。

薄膜沉积的形状变化示意图

为了对薄膜应力的具体情况进行深度剖析，「美能光伏」凭借自身丰富的检测经验，生产了具有全新探针式表面轮廓测量技术的美能探针式台阶仪，该设备能够测量在产业化生产中包括多个工艺层的薄膜沉积后的钙钛矿太阳能电池的薄膜应力，并使用应力卡盘样品支撑在中性位置精确测量样品翘曲。然后通过应用Stoney方程，利用诸如薄膜沉积工艺的形状变化来计算应力。

「美能光伏」凭借在光伏检测行业独特的检测技术与高效的品质服务，赢得了广大光伏企业的盛赞！在钙钛矿太阳能电池的薄膜沉积生产工艺方面，「美能光伏」生产了可在产业化生产中检测薄膜性能，获取各种薄膜参数信息的美能探针式台阶仪。未来，「美能光伏」还将继续为光伏企业生产高品质的检测设备，助力“碳中和”的宏伟方针早日达成！