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国产半导体再突破!环球晶圆成功量产8英寸SiC晶圆

环球晶圆控股董事长徐秀兰近日表示,公司已经成功克服了量产碳化硅(SiC)晶圆的技术难题,并将SiC晶圆推进至8英寸,与国际大厂同步。她预估将于2024年第四季度开始小批量出货8英寸SiC产品,到2025年会大幅增长,到2026年占比超过6英寸晶圆。

目前,环球晶圆较好地控制了8英寸晶圆良率,已经超过50%,并且有进一步改善的空间。明年上半年将开始交付相关样品。

徐秀兰还表示,客户都希望环球晶圆能顺利从6英寸到8英寸SiC的量产过渡,这些客户主要来自汽车领域。为了满足客户的需求,环球晶圆设计并开发了专门的碳化硅晶体生长炉(Crystal Growth Furnace),以增强材料质量控制并降低晶体生长成本。

然而,由于SiC的高硬度和脆性,对晶圆加工带来了挑战。不过,环球晶圆采用更高的工艺精度和更高效的晶圆处理方法,实现了超薄SiC晶圆加工。

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