中国光刻机：上海微电子、五十八所等企业助力半导体产业崛起

中国研发光刻机的上市公司主要有以下几家：

一、上海微电子装备(集团)股份有限公司

上海微电子装备(集团)股份有限公司(简称：上海微电子)是一家专注于半导体装备、泛半导体装备、平板显示装备和科研仪器等领域的高科技企业。公司成立于2002年，总部位于上海。上海微电子的主要产品包括半导体关键设备、平板显示关键设备、激光加工设备等。其中，半导体关键设备包括光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备等。

二、中国电子科技集团公司第五十八研究所

中国电子科技集团公司第五十八研究所(简称：五十八所)成立于1961年，隶属于中国电子科技集团有限公司，是一家专业从事微电子技术研究、开发、生产和服务的高科技企业。五十八所的主要业务包括光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备等半导体设备的研发和生产。五十八所拥有一支经验丰富的研发团队，致力于为客户提供高质量的半导体设备。

三、深圳市光科全息技术有限公司

深圳市光科全息技术有限公司(简称：光科全息)成立于2011年，是一家专注于光刻机研发和生产的高科技企业。光科全息的核心技术包括全息光刻技术、高精度光刻技术等。公司产品主要应用于半导体、平板显示、微电子等领域。光科全息致力于为客户提供高性能、高精度、高可靠性的光刻设备。

四、无锡市新光华半导体设备有限公司

无锡市新光华半导体设备有限公司(简称：新光华)成立于2000年，是一家专业从事光刻机研发、生产和销售的高科技企业。新光华的主要产品包括半导体光刻机、平板显示光刻机、微电子光刻机等。公司拥有一支经验丰富的研发团队，致力于为客户提供高质量的光刻设备。新光华的产品广泛应用于半导体、平板显示、微电子等领域。

总结：

以上四家公司分别是上海微电子装备(集团)股份有限公司、中国电子科技集团公司第五十八研究所、深圳市光科全息技术有限公司和无锡市新光华半导体设备有限公司。这些公司在光刻机研发方面具有较强的实力和技术积累，为中国半导体产业的发展做出了重要贡献。随着国家对半导体产业的持续支持，未来中国光刻机产业将取得更大的突破和发展。