3点教会你晶圆瑕疵检测选人工还是机器

半导体晶圆瑕疵检测选择人工还是自动化，这两个很多情况下不是对立的，具体选择哪个需要根据实际具体的检测需求进行选择。深圳荧鸿简单为你介绍几项你就明白了，不过具体的选择都是综合几项取舍！

1-成本考虑

如果不是大批量生产大多选择人工测试，自动化测试设备的成本是比较昂贵的，一般需要达到85%的自动化标准才能考虑使用自动化测试，而且需要批量生产。

2-测试阶段需求

晶圆前端的制程（原材料等）大部分使用人工目视检测，因为人工可以解决自动化设备解决不了的问题，例如：隐形的裂纹，水印等；到了中端和后段使用人工目视瑕疵检查灯就比较少一些，因为自动化检测设备大多都是综合性的检测设备，除了瑕疵检测还包含了测试外观等功能，另外在此阶段也会使用人工目视瑕疵检测灯用于抽检等。

3-测试精度

人工测试用的检查灯的强度和精度比较高，像我们深圳荧鸿用于晶圆检测的检测灯亮度高达十几万LX，侧重于宏观检测即一些测试要求高的，而自动化检测的对灯源要求没那么高，主要是利用检测的相机放大瑕疵倍数从而显现出来，侧重于微观检测。

人工还是视觉检测晶圆瑕疵