恭喜：广州增芯！首台生产设备搬入！中微半导体刻蚀设备！

12月28日上午，增芯项目迎来首台生产设备搬入，该设备由其战略合作伙伴中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）提供。

本次交付的中微公司Primo D-RIE刻蚀设备反应台是增芯项目12英寸智能传感器及特色工艺晶圆生产线项目建成后搬入的首台设备。这是增芯项目继“920项目封顶”之后的又一里程碑。

当天上午， 增芯首台设备搬入仪式在广州市增城智能传感器产业园举行。今年9月，增芯项目主体结构正式封顶，仅三个月的时间，项目首台设备Primo D-RIE已正式搬入并装机。

增芯项目全称为增芯12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造量产线项目，占地面积达370亩，分两期建设。根据规划，增芯一期将建设月加工能力达2万片的12英寸MEMS制造生产线。此次付运至增芯项目的12英寸双反应台多反应腔主机系统Primo D-RIE，专为优化产量而设计，可以配置多达三个双反应台反应腔，每个反应腔既可以独立操作，又可以同时加工两片晶圆。凭借在大规模生产中稳定可靠的性能表现、较低的生产成本、较高的生产效率和卓越的芯片加工性能，Primo D-RIE已获得众多全球领先芯片制造商的认可与肯定。

中微公司是技术领先的刻蚀及 MOCVD 设备国产厂商，正通过内生外延加速平台化布局。今年6月，增城区人民政府与中微半导体设备（上海）股份有限公司签订合作协议，中微广州公司落户增城。