俄罗斯自研光刻机，计划2024年搞定7nm芯片，科技自主发展引期待

俄罗斯自研光刻机，计划2024年搞定7nm芯片，科技自主发展引期待

一台光刻机多少钱？"ASML之前的一台EUV光刻机造价超过1.5亿美元，约合13亿元人民币。

最新推出的高光圈2纳米的EUV光刻机预计成本约为3-4亿美元，折合人民币高达25-30亿元。

高端浸没式光刻机的成本约为5000美元，折合人民币超过3亿元，而传统的DUV光刻机成本约为1000万美元，折合人民币7000万元。

数据显示，2022年，ASML在中国市场的销售额为21.6亿欧元，售出约100台光刻设备，相当于每台设备的平均售价为2000万元人民币。

传统DUV光刻机初期售价至少1000万美元，高端浸没式光刻机初期售价至少10亿美元，高端EUV光刻机初期售价至少10亿美元。

不过，据俄罗斯媒体前段时间报道，俄罗斯已生产出首台采用无掩膜纳米光刻技术的国产光刻设备，其价格约为500万卢布（约合36.74万人民币）。

当然，俄罗斯并没有透露这种光刻技术的精度水平，但既然我们把它与价格数十亿卢布（即超过7000万卢布）的外国制造的同类产品相比较，它是不是至少达到了DUV或在某些情况下浸入式光刻技术的水平？

为什么这么便宜？目前还不清楚，但主要原因是无掩膜纳米光刻技术不需要使用特殊的掩膜。

此外，俄罗斯已经提出了利用X射线直接光掩膜光刻技术制造芯片的计划，即直接操纵X射线在硅晶片上进行光刻。

俄罗斯的X射线光刻技术

根据俄罗斯的计划，将于2024年开发出一种名为Alpha机器的光刻机，以实现7纳米的工艺精度。

然后，这台用于生产7纳米芯片的光刻机将在2026年作为试验样机出现，并在2028年成为大规模工业生产产品，用于大规模芯片生产。

此外，俄罗斯此前曾笼统地宣称，在输出辐射源相同的情况下，俄罗斯光刻设备的效率将是ASML的1.5到2倍。

俄罗斯是在吹嘘还是真的有这样的能力还有待观察，但考虑到第一台光刻机的价格为37万美元，而且7纳米光刻机的测试原型将于2026年面世，这种吹嘘就显得有些不切实际了。看来事实并非如此。

不过，尽管如此，我们也不应寄希望于俄罗斯会成功。毕竟，它在微芯片生产领域与俄罗斯有关联，它正在突破美国的封锁，敌人的敌人被视为我的朋友。