蚌埠多个项目获批列入国家重点研发计划！

近日，国家科技部公布重点研发计划立项通知，由中国兵器工业集团微电子研究院牵头“基础科研条件与重大科学仪器设备研发”专项中的“电容式微机械超声波换能阵列”项目获得立项批复。同时北方微电子研究院与国内知名高校和科研机构联合申报的“高温高频响硅基压力敏感元件及传感器”等10余项获得立项批复。

为加强我国基础科研条件保障能力建设，国家重点研发计划启动“基础科研条件与重大科学仪器设备研发”重点专项，围绕国家基础研究与科技创新重大战略需求，以关键核心部件国产化为突破口，重点支持高端科学仪器工程化研制与应用开发，研制可靠、耐用、好用、用户愿意用的高端科学仪器，切实提升我国科学仪器自主创新能力和装备水平，促进产业升级发展，支撑创新驱动发展战略实施。

“电容式微机械超声波换能阵列”项目针对无损检测和医疗成像等超声仪器对小型化、高可靠超声波探头部件的国产化需求，开发电容式微机械超声波换能阵列（CMUTs），突破高收发性能超声波换能器阵列芯片设计与制造、低噪声高增益宽带读出ASIC芯片研制以及低损耗高隔离度异质异构多芯片集成等关键技术，解决CMUTs芯片研制和多芯片3D集成时存在的科学问题，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的部件产品。

该项目的批复立项体现了微电子院在MEMS领域的关键技术攻关能力，开启了微电子院在超声医疗领域MEMS器件研发的新方向。

来   源：北方微电子研究院

编   辑：禹良薇

校   验：洪吉庆

审   核：卢静  李琥

监   制：张晓煜

总监制：丁云兵