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英诺激光(301021.SZ):在半导体领域提供的主要产品为碳化硅退火制程的激光器

格隆汇2月21日丨有投资者于投资者互动平台向英诺激光(301021.SZ)提问,“请问公司在半导体设备方面,有哪些产品?在光刻机领域,与哪些公司有合作?”,公司回复称,公司在半导体领域提供的主要产品为碳化硅退火制程的激光器,亦有少量应用在硅基半导体检测等关键制程的紫外和深紫外等激光器,客户以国外知名半导体装备公司为主。

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