创新河南 智能驱动丨电子级碳化硅叫响河南“芯”名片——聚焦智能传感器和半导体产业链系列报道之五

“第三代半导体碳化硅生产的逆变器，应用到新能源汽车领域，可实现快速充电，600公里续航里程的汽车，10分钟就可以充满。”

□本报记者 张海涛 王冰珂 本报通讯员 李晓光

3月19日，位于平顶山市卫东区的河南电子半导体产业园，中国平煤神马集团河南中宜创芯发展有限公司车间一派繁忙。

这里实验室培育出来的碳化硅单晶晶锭，可用来切割成高端电子芯片的衬底。

“与传统的6英寸衬底相比，8英寸衬底的面积增加了78%。在相同的条件下，切割出的芯片数量将提高近90%。很大程度上降低碳化硅的应用成本。”中宜创芯公司技术总监杨正宏介绍。

8英寸碳化硅单晶晶锭的诞生，全面验证了中宜创芯公司碳化硅半导体粉体在长晶方面的独特优势。中宜创芯公司是国内最大的碳化硅半导体粉体研发、生产和销售企业，拥有国际先进的粉体合成炉和自动化无污染破碎技术，其产品具有单炉产能大、颗粒度大、纯度高、阿尔法含量高和游离碳低等优点，更适合碳化硅厚单晶的生长。

碳化硅半导体粉体是重要的第三代半导体材料，应用潜力巨大，但国内掌握核心技术的企业尚不多。“第三代半导体碳化硅生产的逆变器，应用到新能源汽车领域，可实现快速充电，600公里续航里程的汽车，10分钟就可以充满。”中宜创芯相关负责人介绍。

去年以来，平煤神马集团立足高端硅碳等基础材料优势，抢抓产业新机遇，在中试研究取得重大进展的基础上，规划建设了年产2000吨碳化硅半导体粉体项目，吹响了量产的冲锋号。2023年9月30日，首批产品下线，经权威机构检测纯度为99.99996%，达到国内优等品标准。

河南电子半导体产业园是全省“双百工程”重点项目，总投资280亿元，由平顶山市、卫东区联动成立河南平东安芯建设投资有限公司作为建设主体，负责厂房及园区基础设施建设；平煤神马集团和平顶山发展投资控股集团共同出资设立中宜创芯公司为链主企业，由16位博士、工程师组成科研团队，负责项目及全产业链集群建设。

卫东区委书记张伟介绍，该区与平煤神马集团组建“双向挂职、分工明确、目标一致”的联合指挥部，选派专班现场办公、一线解题，全面加速基础设施建设。目前，园区道路、绿化、地下管网供水等已完成，配套封测项目厂房主体建成，科研楼、办公楼、综合服务楼已经建成。

近年来，卫东区坚定不移走资源型城区转型发展之路，聚焦特色链条、创新要素、龙头带动，依托以碳化硅上游核心粉体、晶锭为代表的碳硅新材料产业，持续实施强链延链补链，着力引进上下游关联和配套企业落户。

卫东区将积极融入全省“7+28+N”产业链群，以碳化硅“基础材料+全链发展”为核心，持续推进政企联动，依托2000吨电子级碳化硅粉体项目，着力构建从衬底、外延、设计、封测到应用的全链发展模式。

“我们努力将河南电子半导体产业园建设成尧山实验室中试基地和技术成果转移转化基地，打造为全省集成电路垂直示范园区，以新质生产力推动资源型城区高质量转型。”张伟说。