浙江滨江MEMS器件研发洁净室的设计布局

随着微机电系统（MEMS）技术的快速发展，MEMS器件在传感器、执行器、微处理器等领域的应用日益广泛。为了确保MEMS器件的研发质量和性能稳定性，洁净室的设计显得尤为重要。现在我们就以EPC工程（总承包）集成服务商CEIDI西递的某项目为例，对MEMS器件研发洁净室的设计布局进行详细分析。

在MEMS器件研发洁净室的设计布局中，需遵循一系列严格的标准和要求，以确保洁净度与工艺需求相匹配。以下是具体的设计布局要点：

（1）洁净区：这是洁净室的核心区域，洁净等级设置为百级、千级或万级，具体取决于MEMS器件的生产工艺要求。

（2）无尘辅助用房：这些区域通常包括人流进出洁净用房、物料进出清洁区以及部分办公生活区等。其洁净等级设置为万级或十万级，以满足辅助生产活动的需求。这些区域的设计需注重人员与物料的流动控制，以最小化对洁净区的影响。

（3）非洁净区：包括办公室、会议室、值班室和休息区等，这些区域的设计需注重与洁净区的隔离，以避免交叉污染。

（4）专用设备区： 主要设置净化空调机房、电气用房、纯水间、用气间等，对空气净化等级没有特殊要求，但必须与净化车间设置有效的物理或空气隔离。

除此之外，据洁净度等级的不同，洁净室之间的压差管理也有着明确的标准。同等级洁净室间的压差需保持一致，而不同洁净等级的相邻洁净室之间压差应≥5Pa，洁净室与非洁净室之间的压差则要求≥10Pa。这些压差均为正压，其主要目的是有效防止周围空间中的颗粒物进入洁净区，从而确保洁净室的洁净度达到工艺要求。

在MEMS器件的洁净室生产环境中，酸性和碱性物质、有机溶剂以及各类气体都是常见的使用或产生的物质。为确保生产环境的纯净与安全，根据GB50073-2001《洁净厂房设计规范》的指引，排风系统必须独立设置。因此，洁净室还需要特别配备酸性、碱性及溶剂排风系统，确保酸碱气体在通过玻璃钢淋洗塔处理后安全排出室外。

此外，由于MEMS器件制造过程中使用的化学物质可能对某些材料产生腐蚀作用，因此车间吊顶材料通常选用FFU盲板或防火彩钢板。而车间墙体的装修材料则要考虑防火、防尘、防静电等多重因素，防火彩钢板因其良好的隔音、隔热性能以及防静电特性，成为了首选材料。

CEIDI西递是专注于洁净工程领域的EPC集成服务商，针对MEMS器件生产的特殊需求，能够深入理解其高精度、高洁净度的生产环境要求，为洁净室提供全方位的设计方案。从洁净等级的划分到各功能区的设置，从气流组织到材料选择，每一个环节都会经过精心的计算和布局。