电子背散射衍射（EBSD）技术：相鉴定及相比计算

在扫描电子显微镜(SEM)领域，电子背散射衍射(EBSD)技术已经成为金属、陶瓷和地质科学家们分析材料的显微结构和织构的重要工具。EBSD系统的进步，特别是自动化花样分析和显微镜电子束及样品台的精确控制，使得对样品表面进行线扫描或面扫描变得快速而自动化。通过这些技术，可以迅速从采集的数据中生成取向成像图(OIM)、极图和反极图，并计算取向（差）分布函数。这意味着在短时间内可以收集到大量关于样品的晶体学信息，包括但不限于织构和取向差异分析、晶粒大小和形态分布、晶界特性、亚晶和孪生界面的性质、应变和再结晶分析、相识别以及相比例计算等。EBSD之所以在多种材料的研究中得到广泛应用，正是因为它能提供这些丰富的晶体学信息。

相鉴定及相比计算

不同的物相具有不同的晶体结构，其背散射电子衍射花样必然存在一定差别。根据其衍射花样的特征及标定结果，很容易确定其物相。在采用取向成像技术可实现选择物相成像，在图像中能清晰地显示相的分布，并能计算出相的相对含量。

就目前来说，相鉴定是指根据固体的晶体结构来对其物理上的区别进行分类。EBSD发展成为进行相鉴定的工具，其应用还不如取向关系测量那样广泛，但是应用于这方面的技术潜力很大，特别是与化学分析相结合。已经用EBSD鉴定了某些矿物和一些复杂相。

EBSD最有用的就是区分化学成分相似的相，如，在扫描电子显微镜中很难在能谱成分分析的基础上区别某元素的氧化物或碳化物或氮化物，但是，这些相的晶体学关系经常能毫无疑问地区分开。M7C3和M3C相（M大多是铬）已被从二者共存的合金中鉴别出来，因为它们分别属于六方晶系和四方晶系，这样它们的电子背散射衍射花样（EBSP）就完全不同。类似地，已用EBSD区分了赤铁矿、磁铁矿和方铁矿。

最后一个例子，也许是用EBSD进行相鉴定的最简单的应用之一，就是直接区别铁的体心立方和面心立方，这在实践中也经常用到，而且用元素的化学分析方法是无法办到的，如钢中的铁素体和奥氏体。而且在相鉴定和取向成像图绘制的基础上，很容易地进行多相材料中相百分含量的计算。

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