成立一年半,九峰山实验室吸引了近30家半导体链条企业比邻而居,总估值超百亿元,培育半导体领域人才超3万人,一批先进半导体技术的破局者在武汉涌现。
运行一年来,九峰山实验室实现了8寸中试线通线运行,首批晶圆(高精密光栅)成功下线,填补了国内高线密度、超高折射率、非周期性高精密光栅生产工艺空白。
全球首片8寸硅光薄膜铌酸锂光电集成晶圆也于今年3月成功下线,可实现超低损耗、超高带宽的高端光芯片规模制造,为目前全球综合性能最优的光电集成芯片。
除自身不断创新突破外,作为国内为数不多的公共、开放、中立、共享的科研平台,九峰山实验室还与产业链各龙头企业通力合作,以“用”为导向,布局开发共性技术,推进国产半导体材料、设备的验证工作,打造化合物半导体中试平台。
在九峰山实验室,9000平方米的洁净室内,有上百个项目在同时运转,实验室内随处可见科研人员与产业链企业联合研发的身影。
上海邦芯半导体科技有限公司研发的刻蚀、薄膜沉积设备,在九峰山实验室的助推下,实现多款设备的量产。
武汉驿天诺科技有限公司与九峰山实验室合作开发的硅光及三代半导体晶圆级、芯片级、器件级封测装备,测试精度达到微米级。
华工科技研制的首套高端半导体晶圆激光切割系列装备借助九峰山实验室平台通过了中试验证,获取测试报告的设备已成功导入下游企业。
九峰山实验室有关负责人表示,我们希望与更多合作伙伴共同点亮化合物半导体平台、技术、产业的“灯塔”,为未来3~10年的技术难题进行前沿探索和技术攻关,打通全产业链条中的“断点”,拉平产学研融合发展的鸿沟,引领全球化合物半导体技术进步。
与九峰山实验室一街之隔的九峰山科技园正火热建设,将构建从设备、材料、设计到器件、封装等的全产业链体系,形成创新活跃、要素齐全、开放协同的产业生态。
驿天诺科技有限公司董事长单娜表示,在九峰山实验室平台的引荐下,公司已经拓展了一批新客户,获得了一批订单,下一步还会入驻九峰山科技园区,进一步扩大经营规模。
九峰山实验室周边已聚集了近30家化合物半导体龙头企业和创新型中小企业,到2025年,这里将聚集产业链企业100家以上,培育1到2家细分领域龙头企业,在存储、化合物半导体、传感器、先进封装等细分领域打造一批创新产品,形成化合物半导体全产业生态。
在中国工程院院士、国家新材料产业发展专家咨询委员会主任干勇看来,我国已形成化合物半导体全产业链,这将摆脱对高精度光刻机为代表的先进加工设备的依赖,有望在全球半导体产业格局中找到超车突破口。
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