半导体里的EFEM是什么

设备前端模块(Equipment Front End Module)指在高洁净环境下，将单片晶圆通过精密机械手传输至工艺、检测模块的晶圆前端传输系统。EFEM从属于半导体生产设备，其中晶圆装载系统（Loadport）、晶圆运输机器人（Robot）、晶圆对准器（Aligner）是最核心的三大部件。在产品方面，EFEM半导体设备前置模块是最大的细分，市场份额超过75%。在应用方面，应用最多的是300mm的晶圆，市场占有率超过95%，其次是200mm的晶圆。