锥孔与垂直孔各有什么优势？

知识星球里的学员问：在做通孔时，看到有的是锥孔，即倾斜孔，有的做的是垂直孔，这两种孔型有什么区别？

在做通孔（via）时，一般会刻蚀两种孔型，如上图左右两种孔型。

图中左边的孔具有垂直的侧壁，底部的面积为A，上表面的面积与底部相同，保持了恒定的横截面。

图中右边的孔具有倾斜的侧壁。底部的面积与垂直孔相同为A，但上表面的面积大于底部面积，呈现一个锥形结构。显然，孔的横截面在向上逐渐增大。

锥孔和垂直孔的优点？

垂直孔的优势

1，由于孔的上表面和底部表面的面积相等，垂直侧壁孔可以在较小的面积内放置更多的孔，因此适合高密度的集成。

2，刻蚀工艺中尺寸控制更精确

锥孔的优势

这种上大下小的结构，在PVD，CVD,电镀时，气体反应物更容易进入到孔的底部，便于反应填充。另一方面，在深孔中，垂直侧壁孔容易发生“闭孔效应”，即材料首先在孔口处沉积，导致后续反应无法进行，而锥孔则完美避免了这个问题。

锥孔与垂直孔各用在哪些领域？

垂直孔一般用在TSV（硅通孔）工艺，FinFET结构中的接触孔，mems芯片等精度要求高，深宽比较深的场景。

锥孔一般用在半导体制造的铜互连工艺中，或晶圆级封装工艺中。