飞创高精度单轴直线模组：半导体领域的精准驱动利器

飞创高精度单轴直线模组为各行业的直线运动需求提供了高性能的解决方案。

飞创直线模组FCL系列采用直线电机直接驱动，搭配高精度的光栅或磁栅反馈系统，重复定位精度可达到 ±0.002mm，能够满足对精度要求极高的生产和加工场景。

得益于飞创独有的直驱技术和大推力直线电机，FCL系列直线模组可实现最大水平负载 500kg，在搬运较重的物体或在需要承受较大负载的工作场景中具有良好的性能表现。

目前 FCL系列直线模组标准行程最大可达 60m，并可根据客户要求定制行程，满足一些对行程要求较高的应用场景。最高速度可达 10m/s，最高加速度可达 6g，可以大大提高生产效率，缩短生产周期。

FCL系列直线模组被广泛应用于液晶面板、半导体、新能源、汽车制造、3C、精密加工、实验装置、包装运输等诸多行业，在半导体领域更是有着极为典型的应用案例。

应用案例一：晶圆搬运与定位系统

在半导体晶圆制造过程中，对晶圆的搬运和精确定位要求极高。飞创直线模组被应用于晶圆搬运设备中，凭借其高精度和高负载能力，能够稳定地搬运不同尺寸的晶圆。同时，在晶圆加工的各个环节，直线模组通过与高精度传感器和控制系统配合，实现了晶圆的亚微米级定位精度，确保了半导体制造工艺的准确性和稳定性。

应用案例二：半导体检测设备

半导体芯片的质量检测是半导体生产过程中的重要环节，飞创直线模组带动检测相机在芯片表面进行快速、精确的扫描，其高精度和高速度使得检测过程更加高效和准确，能够及时发现芯片表面的微小缺陷。

Faster motion 飞创致力于（超长行程、超高速度、超高精度、超重负载、速度平稳）单轴，多轴直线电机模组研发、设计、生产，为高速、高精度运动平台提供直驱技术解决方案。