中微创始人尹志尧教授在2024年总结会上感慨万分:他在美国研究了40年刻蚀机,从没想过能达到这么高的精确度。
尹志尧宣布,中微最新的刻蚀机精确度达到了0.02纳米,相当于人头发丝的350万分之一,每次加工一个原子都不差。这种精确度,他以前想都不敢想。
估计美国硅谷的芯片巨头听到这个消息,要失眠了。
尹志尧在硅谷是大佬级人物,公认的等离子体刻蚀技术专家。他早期在泛林科技工作,把刻蚀机技术带到国际前列;后来被应用材料公司挖走,又带队做到国际领先。
2004年,60岁的尹志尧得知中国开始发展芯片产业,毅然回国,还从美国带回三十多名芯片专家,创办了中微半导体设备有限公司。经过二十年努力,他们研发的等离子体刻蚀设备已经能满足5纳米以下器件制造需求,被国内外一线芯片公司采用。
现在,80多岁的尹志尧教授还在科研一线奋斗,努力攻克中国在芯片产业链上的难题。
尹志尧教授把事业巅峰留在中国,真是国家的幸运,民族的骄傲。