哈工大最近搞了个大新闻，他们在研究可控核聚变的时候，顺便解决了EUV光刻机的一个关键技术难题。我们知道ASML的EUV光刻机用…

哈工大最近搞了个大新闻，他们在研究可控核聚变的时候，顺便解决了EUV光刻机的一个关键技术难题。我们知道ASML的EUV光刻机用的是13.5纳米波长的极紫外光源，这东西对制造高端芯片特别重要。现在哈工大不用ASML那一套，自己整出了一个叫“放电等离子体”的新方法，也能得到13.5纳米的极紫外光。

具体怎么做的呢？他们用强电流穿过像锡这样的金属蒸汽，瞬间加热到超级高温，这样就形成了等离子体。这些等离子体在冷却的时候会发出特定波长的光，正好是咱们需要的13.5纳米极紫外光。这个过程有点像打雷时产生的闪电，只不过他们是人为控制的，所以叫做“Z箍缩”。

说到这儿，你可能会问这和核聚变有啥关系？其实原理上有相通的地方，都是通过强大的电流来产生高温高压环境，让物质变成等离子体状态。哈工大的这项技术就是借鉴了这一点，实现了EUV光源的自制。

至于为啥这项技术只拿了省级奖，可能是因为咱们国家现在更关注其他更紧迫的技术突破吧，毕竟科技发展日新月异，每个阶段都有不同的重点。