氦质谱检漏仪是一种高灵敏度的检测设备,主要用于检测系统中的微小漏孔。标准漏孔是用于校验氦质谱检漏仪准确性和稳定性的工具。以下是使用标准漏孔进行氦质谱检漏仪校验的一般步骤:
准备工作
确认标准漏孔规格:确保所使用的标准漏孔的漏率(如10^-7 Pa·m³/s)符合检漏仪校验的要求。
检漏仪预热:确保氦质谱检漏仪已经充分预热,并运行稳定。
设备连接:将标准漏孔连接到检漏仪的测试端口。
操作步骤
校验前准备:
打开氦质谱检漏仪,进入检漏模式。
确保检漏仪内部干净,无干扰气体。
零点校准:
在不连接标准漏孔的情况下,对检漏仪进行零点校准,确保仪器读数为零。
连接标准漏孔:
将标准漏孔连接到检漏仪的测试接口。
确保连接紧密,无泄漏。
流量调整:
如果标准漏孔有流量调节功能,调整到检漏仪推荐的工作流量。
读取漏率:
等待检漏仪稳定后,记录检漏仪显示的漏率值。
与标准漏孔标称漏率值进行比较。
校验:
如果检漏仪显示的漏率值与标准漏孔标称值在允许的误差范围内,则说明检漏仪工作正常。
如果偏差较大,需要对检漏仪进行调校或维修。
记录数据:
记录校验结果,包括标准漏孔编号、检漏仪读数、校验日期等信息。
注意事项
使用标准漏孔时,避免对其造成物理损伤,以免影响漏率。
标准漏孔使用前后都应进行清洁,防止污染。
定期对标准漏孔进行校验,确保其准确性。
操作过程中要遵守相关安全规程。
正确使用标准漏孔对确保氦质谱检漏仪的测量准确性至关重要。如果在使用过程中有任何疑问,请参考检漏仪的操作手册或咨询生产厂家的专业技术人员。
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