成都高新区公共技术平台系列宣传报道——高端聚焦离子束应用公共技术平台

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成都高新区有效整合企业、高等院校、科研院所、科技服务机构等资源，形成了涵盖集成电路、生物医药、大数据、软件、光电显示、云计算、知识产权、信息安全、虚拟现实等产业领域，从创新研发、技术转移到成果转化的公共技术平台体系，认定了电子信息类、生物医药类和新经济类78家公共技术平台，其中，电子信息类26家，生物医药类30家，新经济类22家。

根据《成都高新区进一步深化创新创业发展的若干政策》（成高管发〔2017〕1号），成都高新区支持成都高新区创新创业企业使用公共技术平台，给予企业使用补贴，降低企业研发成本。

平台简介

高端聚焦离子束应用公共技术平台成立于2015年3月16日，承担单位：成都君海半导体技术有限公司，原名成都岭海半导体技术有限公司（以下简称“成都君海”），是一家专业的FIB芯片电路修补公司。为整个西南地区提供更便捷高效的FIB服务。目前成都君海跟西南地区的芯片研发企业，科研院所、学校，流片厂建立了长期的合作并取得不错的口碑。

服务优势

成都君海半导体技术有限公司设置有两台FIB机台（Micrion 986 ），可以操做到40nm的AL.CU制程的芯片；一台显微镜，可放大1000倍；一台抽风过滤柜，为化学开盖使用。

成都君海机台设备与其他机型的对比

机台型号

岭海

MICRION986

其他供应商 FEI 200/800

工艺制程

1um—40nm AL, CU制程

1um—0.18um AL制程

材质阻值

镀线使用Tungsten，阻值低，导电性高

镀线使用Pt 阻值高, 导电性低

离子源加速电压

5万伏特, 影像分辨率高

3万伏特, 影像分辨率差

移动系统

Laser Stage 移动准确性高

马达精准度不高

放大倍率

最高可达5um，精准度高

最高可达18um，精准度

定位系统

具有GDS定位系统

无定位系统

工程师简介

Andy Gan

FIB技术顾问

2000-2007 在美国Amer 七年的FIB经验

2007-2013 在上海EAG 六年的FIB经验

2013年至今，在君海任职FIB技术顾问

DeJin Sun

FIB实验室经理

2012-2014年在深圳君海任职FIB工程师

2014年至今，在成都君海任职FIB实验室经理

所获荣誉

成都君海半导体技术有限公司（原名成都岭海半导体技术有限公司）于2016年三月通过ISO 9001：2008质量管理体系认证，证书号15/16Q0217R00。

联系信息

地址

成都市高新区天府大道北段1480号高新孵化园一号楼A座1楼3号

公司网址

www.ifocus-group.cn

电话

+86-8625-2360-61

邮箱

fib_cd@ifocus-group.cn

传真

+86-8625-2360-61

平台补贴