键德测试测量|射频探针台的结构详解

射频探针台是一种用于电子与通信技术领域、信息科学与系统科学及其相关工程与技术领域的分析仪器。它采用高精度的射频技术，可以在不同的频率下进行测试，并提供一个可编程的在线控制系统，以帮助科学家获得关于材料的物理、化学和电学信息。那么大家知道射频探针台的结构都有哪些吗?下面键德测试测量小编就来为大家详细介绍下。

射频探针台的结构详解

一、Chuck(卡盘)

Chuck是一种用于固定晶片或裸片的装置，确保在测试过程中样品不会移动或损坏。它通常设计有精密的夹持机构，能够牢固地固定各种尺寸的晶片或裸片，同时避免对样品造成任何损伤。

二、载物台

载物台用于将Chuck定位在X、Y、Z和Theta(θ)方向上。它通常配备有精密的传动机构和定位系统，能够实现高精度的移动和定位。载物台的设计使得用户可以方便地调整样品的位置和角度，以满足不同测试需求。

三、机械手

机械手是射频探针台中的关键部件之一，用于将探头定位在被测设备(DUT)上。它通常具有多个自由度，能够灵活地移动和调整探头的位置和角度。机械手的设计使得用户可以精确地控制探头的位置，确保测试过程中探头与被测设备之间的接触良好。

四、压板

压板用于固定操纵器并使探针与设备接触。它通常具有较大的接触面积和适当的压力，能够确保探针在测试过程中与被测设备之间的稳定接触。压板的设计使得用户可以方便地调整压力大小，以适应不同测试需求和样品特性。

五、探头尖端和臂

探头尖端和臂安装在机械手上，它们直接接触被测设备。探头尖端通常具有较小的尺寸和高精度的设计，能够实现对被测设备微小区域的精确测试。探头臂则具有足够的刚性和灵活性，能够确保探头在测试过程中的稳定性和准确性。

六、光学系统

光学系统用于查看和放大被测设备和探头尖端。它通常包括显微镜、摄像头等部件，能够实现对被测设备的精细观察和定位。光学系统的设计使得用户可以清晰地看到被测设备的细节和探头尖端的位置，从而确保测试的准确性和可靠性。

七、其他辅助部件

除了以上关键部件外，射频探针台还可能包括一些其他辅助部件，如控制系统、电源系统、冷却系统等。这些部件共同协作，确保射频探针台的正常运行和测试过程的顺利进行。

以上关于射频探针台的结构就为大家分享到这里，射频探针台的结构相对复杂，但各部件之间紧密配合，共同实现了对射频信号的精确测试和分析。在选择射频探针台时，用户应根据自己的测试需求和预算进行综合考虑，选择适合自己的设备。