键德测试测量|真空高低温探针台怎么用？

真空高低温探针台是半导体测试领域的关键设备，其使用方法主要包括很多步骤，下面键德测试测量小编就来为大家介绍下。

一、准备工作

检查设备：确保真空高低温探针台的电源和气源连接正常，设备表面干净整洁无灰尘。同时，检查探针、电缆等配件是否完好无损。

佩戴防护用品：为了保护操作人员的安全，需要佩戴相应的手套、防静电手环等防护用品。

二、样品放置与定位

样品载入：将待测样品载入真空卡盘，并通过真空阀控制开关确保样品安全牢固地吸附在卡盘上。

样品定位：使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品，然后将样品待测试点移动至显微镜下。此时，可以先使用低倍物镜确定样品的大致位置，然后切换为高倍物镜进行精确定位。

三、探针调整与测试

探针安装：根据测试需求，选择合适的探针并安装在探针座上。

探针移动：使用探针座X、Y、Z三个微调旋钮慢慢地将探针移动到被测点。在移动过程中要小心谨慎，防止探针误伤样品。当探针尖端悬挂在被测点上方时，可以先用Y轴旋钮稍微后退一点，然后用Z轴旋钮下针。

接触测试：确保针尖与被测点接触良好后，可以通过连接测试设备开始测试。测试过程中要密切关注设备的运行状态和测试结果，确保测试数据的准确性和可靠性。

四、测试结束与清理

测试结束：完成测试后，将探针台拉杆抬起(如果设备具有此功能)，将探针回到初始化位置，防止错误操作。

设备清理：关闭真空泵、光源、加热和制冷系统等设备的开关，断开电源和气源连接。

五、高低温环境设置(针对高低温探针台特有功能)

温度设置：根据测试需求，设置所需的温度范围。

启动加热/制冷系统：启动加热系统或制冷系统，将样品加热或冷却到所需的温度。

温度稳定：等待温度稳定后，再进行测试操作。

需要注意的是，上述步骤为真空高低温探针台的一般使用方法，具体操作步骤可能因设备和测试需求的不同而有所差异。因此，在实际操作中，应参考设备说明书和测试方案进行具体操作。