半导体参数分析、电流-电压（IV）、电容-电压（CV）测量、快速脉冲IV测量

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背景介绍

随着半导体技术的飞速发展，新型器件（如宽禁带材料器件、量子点器件、先进逻辑芯片等）对电学参数测试提出了更高要求。传统的半导体测试设备往往面临功能单一、精度不足、动态响应慢等挑战，难以满足高频、高灵敏度、多场景协同测试的需求。

东谱科技依托十余年半导体测试技术积累，推出新一代模块化半导体参数分析仪FluxDancer。该设备集电流电压（IV）、电容电压（CV）、阻抗分析、噪声测试等功能于一体，支持从基础特性到动态响应的全维度测试，覆盖有源/无源器件、太阳能电池、晶体管（FET/BJT）等多种电子元器件。FluxDancer凭借其超高精度、灵活扩展性及智能化操作，为半导体研发与生产提供高效、可靠的测试解决方案，助力突破器件性能极限，加速技术产业化进程。

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设备介绍

（一）原理

FluxDancer半导体参数分析仪是由Oriental Spectra精心打造的高精度测试设备，专为测量和分析半导体器件的电学特性而设计。这款仪器融合了众多前沿测量技术，包括电源、电压表、电流表、LCR表和开关矩阵等，使其能够执行电流-电压（IV）和电容-电压（CV）测量，以及快速脉冲IV测量等多种测试。

半导体参数分析的核心在于精准捕获器件在电、光、热等多物理场耦合下的动态响应特性。FluxDancer通过高精度信号源与采集模块的协同控制，实时解析器件的电流、电压、电容、阻抗等参数，并结合多维数据分析算法，揭示器件内部载流子输运、界面缺陷、能带结构等关键信息，为器件优化提供理论依据。

（二）技术特点

FluxDancer半导体参数分析仪致力于提供高精度与高分辨率的测试体验，广泛适用于半导体研发、制程开发、器件可靠性及光电器件测试等领域。其集成设计较传统多仪器组合更具优势，支持广泛的电压和电流测量范围，可检测飞安级别的微小电流，还能进行兆赫兹频率的CV测量。设备支持IV、CV、脉冲IV等多种测量模式，能够在短时间内完成复杂的测试任务，并提供实时数据分析。

同时，FluxDancer具备模块化设计，易于升级和扩展，配备图形化操作软件，简化操作流程，支持自动化测试，可自动生成测试报告，包括器件特性分析、模型提取等。

（三）技术优势

FluxDancer半导体参数分析仪具备卓越的动态响应与高频测试能力，其SuperPIV模式支持10ns级超短脉冲，能够精准捕捉如GaN、SiC等宽禁带器件的瞬态特性，有效避免因自热效应导致的测量偏差。同时，设备的阻抗分析带宽扩展至10MHz，满足高频器件（例如射频晶体管）的寄生参数提取需求。此外，FluxDancer支持电压、电流、温度、光照等多变量的联动控制，可实时获取器件在复杂工况下的性能演变规律，并结合噪声与阻抗数据，量化分析界面缺陷密度、载流子迁移率等微观参数。其适用性广泛，能适应多种扩展性测试场景，如与高低温恒温器耦合进行变温器件性能测试，与显微测试系统耦合进行微纳器件测试，与手套箱测试耦合实现惰性气体保护下的测试，与真空发生器测试耦合实现真空测试，与磁学部件耦合检测磁场影响下的电学性能，以及与晶圆测试平台耦合实现对晶圆及后续半导体模组的电学测试等。

在半导体行业中，FluxDancer作为不可或缺的高精度测试工具，凭借其卓越的性能和广泛的应用范围，为科研人员和工程师提供了一个可靠的测量平台，助力用户在半导体领域的探索与创新。