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高纯氧化镁:助力半导体产业升级的幕后英雄 京煌科技

1、作为绝缘层材料:在半导体器件中,绝缘层至关重要,氧化镁便是极为出色的绝缘材料之选。以场效应晶体管(FET)为例,它的栅极绝缘层需具备高介电常数与良好的绝缘性能。氧化镁的介电常数较高,约为 9.8,能够有效降低栅极漏电流,极大地提高晶体管的开关速度与工作效率。同时,氧化镁形成的绝缘层具备良好的热稳定性与化学稳定性,在半导体器件工作过程中,可承受较高温度与复杂化学环境,保障器件稳定运行,进而提升半导体芯片的可靠性与使用寿命。

2、用于半导体外延生长:外延生长是在半导体衬底上生长高质量单晶层的关键技术。氧化镁因其与多种半导体材料(如氮化镓、碳化硅等)具有良好的晶格匹配性,常被用作外延生长的缓冲层或衬底材料。在氮化镓外延生长中,在蓝宝石衬底上先沉积一层氧化镁缓冲层,能够有效降低氮化镓外延层的位错密度,改善其晶体质量。这是因为氧化镁缓冲层可以缓解蓝宝石衬底与氮化镓之间的晶格失配和热失配问题,使得氮化镓外延层能够更有序地生长,从而提高氮化镓基半导体器件的性能,例如增强其发光效率、电子迁移率等,在发光二极管(LED)和功率半导体器件领域具有重要应用价值。

3、在半导体薄膜制备中的应用:在制备半导体薄膜时,氧化镁可作为添加剂或模板。在一些氧化物半导体薄膜的制备过程中,添加适量氧化镁能够调控薄膜的微观结构与电学性能。比如,在制备氧化锌基半导体薄膜时,氧化镁的加入可以改变薄膜的晶体结构,抑制晶粒生长,使薄膜的晶粒尺寸更加均匀细小,从而影响薄膜的电学特性,提高其载流子迁移率等性能。此外,氧化镁还可作为模板用于制备具有特定取向或结构的半导体薄膜,引导半导体材料在其表面按照特定方式生长,实现对半导体薄膜微观结构的精准控制,满足不同半导体器件对薄膜结构和性能的特殊要求。

4、对半导体材料表面改性:氧化镁可以对半导体材料的表面进行改性处理,提升其表面性能。通过在半导体材料表面沉积一层氧化镁薄膜,能够改善半导体表面的化学活性与物理性质。例如,在硅基半导体表面沉积氧化镁薄膜后,可有效减少表面悬挂键,降低表面态密度,从而减少表面复合中心,提高半导体器件的少子寿命,提升器件的光电转换效率。在一些光电器件中,这种表面改性能够增强光吸收与光生载流子的分离效率,优化器件的光学性能,为高性能光电器件的研发与制备提供有力支持。

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