爱柯锐PGT200M残余气体分析仪RGA

    爱柯锐 PGT200M残余气体分析仪(RGA)支持200amu的质量数范围，能够分析多种气体成分。分辨率小于1amu，确保了对气体成分的准确识别。可选择双涂覆氧化钇铱丝双灯丝或双钨灯丝，适应不同的实验需求。采用电子倍增器（EM）作为检测器，灵敏度高，适合低浓度气体的检测。可检测到2E-12 Pa的最小分压，适合高真空环境的应用。

   爱柯锐(ACT)公司专注于质谱研发与市场应用，核心团队来自高校/科研院所及真空行业，拥有十年以上研发经验。作为国产RGA代表产品，PGT系列凭借技术创新和服务体系，已为教育科研及半导体企业提供高性价比解决方案，具备稳定供应链体系。

科研实验应用：

1、材料研究：用于研究材料在高温或真空环境下的气体释放特性，评估其热稳定性和化学特性；

2、真空系统检测：在真空工艺中，监测系统中的残余气体成分，确保真空环境的纯净度和稳定性。；

3、半导体制造：用于半导体行业，检测材料在加工过程中的气体释放，确保产品的质量和性能；

4、化学反应监测。

Accurate爱柯锐 PGT200M残余气体分析仪(RGA)参数：

Accurate爱柯锐 PGT200M残余气体分析仪(RGA)使用方法：

设备准备：确保残余气体分析仪(RGA)处于良好状态，连接电源及必要的气体管路。

样品准备：根据实验需求准备待测样品，确保样品符合测试要求。

设置测试参数：在仪器界面上设置合适的测试参数，包括测量范围和采样时间。

连接样品：将待测样品连接至分析仪的采样口，确保密封良好，防止泄漏。

启动测试：启动仪器进行气体分析，观察仪器显示屏上的实时数据和图表。

数据记录与分析：测试完成后，记录数据并使用软件进行数据分析，生成报告。

设备清理与维护：测试结束后，清洁仪器，定期检查和校准，确保设备的准确性和可靠性。

Accurate爱柯锐 PGT200M残余气体分析仪(RGA)有哪些实验室在用：

中国科学院上海微系统与信息技术研究所：用于IC产品气体污染监测分析

中国电子科技集团第41研究所：用于新一代集成电路工艺控制与优化

中国科学院半导体研究所：用于新型材料芯片工艺开发与监测

上海交通大学先进制造技术国家工程实验室：用于生产工艺质量控制

中国科学院上海微电子研究所：用于电子元器件结构分析与监测

华中科技大学电子与信息学院：用于半导体工艺技术研究与开发

北京大学电子工程系：用于新材料工艺流程与设备优化

Accurate爱柯锐 PGT200M残余气体分析仪(RGA)售后使用注意事项：

操作人员应穿戴防护服和手套，妥善操作以防烧伤和污染。

标质气更换频率按使用情况确定，不得随意更改标质气。

采样应远离干扰气体源头，采样管路保持通畅清洁避免阻塞。

分析前容器内应充分清空残余气体，严禁混用不同样品气体。

分析过程中仪器内部不要打开保护罩，避免对测量有影响。

使用后切断气源，关闭主电源，定期维护和校准软硬件。

保存分析报告和记录，操作按标准作业流程进行。

训练人员操作技巧和应对常见故障处理方法。

使用环境要保持规范清洁避免各种交叉污染。

相关产品：

气相色谱仪 (GC)：用于进一步分析气体成分，结合残余气体分析仪(RGA)的数据，提供更全面的成分分析。

质谱仪 (MS)：用于对气体成分进行定性和定量分析，增强分析的准确性和灵敏度。

真空泵：在真空系统中，与残余气体分析仪(RGA)协同工作，确保真空环境的稳定性。

热重分析仪 (TGA)：结合使用以评估材料在不同温度下的气体释放特性，提供更全面的材料性能分析。

红外光谱仪 (FTIR)：用于分析气体成分，提供辅助数据以验证残余气体分析的结果。