尘埃粒子计数器是洁净车间环境监测的核心设备

尘埃粒子计数器是洁净车间环境监测的核心设备，用于实时量化空气中悬浮颗粒的浓度和粒径分布，直接影响半导体、医药、生物科技等高精制造行业的产品良率。以下是其关键技术解析及应用指南：

一、尘埃粒子计数器的工作原理

光学检测原理

光散射式（主流）：激光照射粒子产生散射光，光电倍增管捕获信号（可测0.1μm~10μm）。

凝结核式（CNC）：检测超微粒子（0.003~0.1μm），需异丙醇蒸汽辅助。

采样方式

等动力采样：采样头风速与环境风速一致（±10%误差），避免粒子采集失真。

二、关键性能参数

参数工业级要求标准参考

粒径通道 ≥6通道（如0.3/0.5/1.0/3.0/5.0/10μm）

流量精度 2.83L/min±5% ，28.3L/min±5%

计数效率 0.3μm粒子≥50%

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三、洁净车间核心应用场景

1. 半导体晶圆厂

监测点：光刻区、CMP抛光区、AMC（气态分子污染物）控制区。

特殊要求：

抗电磁干扰（刻蚀机周边磁场＜5高斯）。

0.1μm粒子检测能力（3nm工艺需求）。

2. 无菌药品生产

A级区监控：

在线监测≥0.5μm粒子（动态≤3520/m³，静态≤20/m³）。

数据符合FDA 21 CFR Part 11电子记录规范。

3. 锂电池洁净车间

电极涂布区：

监测NMP溶剂挥发导致的0.2~1μm颗粒（阈值设定＜1000/m³）。

防爆型设计（ATEX认证，Zone 1区适用）。

尘埃粒子计数器正从"被动监测"转向"主动环境调控"，成为智能制造工厂的环境感知中枢。选型时需匹配工艺敏感度（如半导体关注0.1μm，医药侧重活菌粒子），并确保数据可追溯性满足行业合规要求。