北方华创发布12英寸先进低压化学气相硅沉积立式炉设备
【北方华创发布12英寸先进低压化学气相硅沉积立式炉设备】《科创板日报》7日讯，近日，北方华创正式发布SICRIUS PY302系列12英寸低压化学气相硅沉积立式炉设备。该设备面向高端逻辑芯片与存储芯片领域非晶硅、多晶硅薄膜沉积技术，成功攻克高深宽比结构填充、高平坦度薄膜生长和兼容低温工艺三大技术瓶颈，标志着北方华创在高端半导体装备领域持续取得关键技术突破。
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