投资50.6亿！全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线即将批量生产……

作为全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线

安徽华鑫微纳集成电路有限公司

8英寸晶圆生产线

于今年五月份

完成首批产品成功串线后

加快产品研发

预计九月底前进入量产阶段

安徽华鑫微纳集成电路有限公司主要从事MEMS晶圆制造，可加工产品涵盖惯性传感器、压力传感器、光MEMS器件等，主要应用于高端装备、汽车电子等领域。8英寸晶圆生产线项目是全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线、全国首条工艺设备配套齐全的压电MEMS量产线。全部建成投产后，将具备月产3万片晶圆的能力，成为国内产出最大的MEMS晶圆生产线。

华鑫微纳项目相关负责人表示，项目目前已经完成所有设备的进场和安装 目前正在处于11款主要产品的工艺调试，预计在9月底之前会进入批量生产阶段。

华鑫微纳8英寸MEMS晶圆生产线位于中国传感谷D区，建设投资50.6亿元，用地面积约154亩，总建筑面积8.7万平方米，定位为国内领先的8英寸MEMS晶圆代工企业以及国内领先的“开放式、定制化MEMS代工平台基地”。这意味着，智能传感器的核心部件——MEMS芯片，将在蚌埠生产并向全球的智能传感器企业供货，为整个产业链安全提供有力支撑。

相关负责人表示，公司下一步将会在市场方面进行深入的拓展，并在产品和平台的开发上加快研发的进度，并在2026年底实现3万片产能的目标。

编   辑：刘畅 孙田

审   核：卢静  李琥

监   制：张晓煜

总监制：丁云兵