日本 Rapidus 启动 2nm GAA 晶体管试制，首块晶圆亮相

IT之家 7 月 18 日消息，日本先进半导体制造商 Rapidus 今日正式宣布启动 2nm GAA（IT之家注：全环绕栅极）晶体管的试制，并展示了其首块 2nm GAA 晶圆。这也是最尖端逻辑制程从“三足鼎立”走向“四厂争霸”道路上的关键里程碑。

Rapidus 于 2023 年 9 月 1 日举行了其首座晶圆厂 IIM-1 的奠基仪式、2024 年 12 月完成了洁净室准备，2025 年 4 月 1 日实现了初始图案的曝光与显影，到 2025 年 6 月完成了由 200 多个制造单元构成的生产线。

▲ IIM-1

Rapidus 正在开发与其 2nm 工艺兼容的 PDK，计划 2026 年一季度结束前向客户交付。该企业 2027 年实现 2nm 量产的计划没有改变。