铣益系统申请基板沉积装置及其控制方法专利，可对腔室和对准器框架进行振动隔离

国家知识产权局信息显示，铣益系统有限责任公司申请一项名为“基板沉积装置及其控制方法”的专利，公开号CN120603981A，申请日期为2024年01月。

专利摘要显示，本发明公开了一种基板沉积装置及其控制方法。根据本发明的一个方面的基板沉积装置，可以包括：腔室，形成沉积空间，并在上侧面的一部分形成有敞开的开口部；对准器框架，位于所述开口部的上侧，并支撑在所述腔室的上侧面的开口部的边缘；隔振部，配置于所述腔室与所述对准器框架之间并用于对所述腔室和所述对准器框架进行振动隔离；基板固定单元，用于固定被引入到所述沉积空间内的基板；位移调节部，结合并支撑在所述对准器框架且朝向所述腔室内侧的沉积空间，并在下端设置有所述基板固定单元，所述位移调节部用于使固定在所述基板固定单元的基板沿水平方向河垂直方向移动以调节所述基板的水平移动和角度；掩膜支撑框架，结合于所述对准器框架并延伸至所述基板固定单元的下侧；掩膜固定单元，设置于所述掩膜支撑框架，并被设置为将掩膜固定在所述基板固定单元的下侧；间隙传感器，用于测量固定在所述基板固定单元的基板和固定在所述掩膜固定单元的掩膜之间的间隔；力传感器，设置于所述掩膜固定单元和所述掩膜支撑框架之间，并用于测量作用于所述掩膜固定单元的负载；以及控制部，用于控制所述基板固定单元、位移调节部和掩膜固定单元。

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来源：市场资讯