北方华创申请用于晶圆传输平台的晶圆定位方法等专利，解决利用固定位置传感器检测晶圆位置带来的盲区问题

国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“用于晶圆传输平台的晶圆定位方法、电子设备和工艺设备”的专利，公开号CN120600678A，申请日期为2024年03月。

专利摘要显示，本公开实施例提供了一种用于晶圆传输平台的晶圆定位方法、电子设备和工艺设备。该晶圆定位方法包括：获取晶圆在晶圆传输平台内的第一图像；获取晶圆的图像特征；根据图像特征在第一图像上对晶圆进行初始定位，获得初始定位信息；基于初始定位信息，采用粒子滤波算法和图像定位算法对晶圆进行追踪定位，获得晶圆的追踪定位信息。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1121次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

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来源：市场资讯