珠海方唯成申请基于HVPE设备智能温场调控方法及系统专利，实现温场控制精度提升

国家知识产权局信息显示，珠海方唯成半导体材料有限责任公司 申请一项名为“一种基于HVPE设备的智能温场调控方法及系统”的专利，公开号CN120595883A，申请日期为2025年06月。

专利摘要显示，本发明公开了一种基于HVPE设备的智能温场调控方法及系统，本发明涉及温场控制领域，S1：多源异构数据多维采集与时空融合；S2：温场均衡度量化评估与分布式协同控制，利用S1所采集的数据计算温场均衡度，通过六维模糊PID控制器与一致性算法，完成温场失衡判断及加热器的协同控制，用于提升温场均匀性与稳定性；S3：热、流、沉积、压力四场耦合动态补偿；S4：基于数字孪生的动态学习优化。本发明所述的一种基于HVPE设备的智能温场调控方法及系统，基于多源异构数据采集、温场均衡控制、四场耦合补偿、数字孪生优化，实现了温场控制精度、复杂工况适应性、设备运维效率的全面提升。

天眼查资料显示，珠海方唯成半导体材料有限责任公司，成立于2022年，位于珠海市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本3000万人民币。通过天眼查大数据分析，珠海方唯成半导体材料有限责任公司参与招投标项目8次，专利信息4条，此外企业还拥有行政许可12个。

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来源：市场资讯